[发明专利]高频非接触式双轴振动台

权利要求书

1.一种高频非接触式双轴振动台，其特征在于，包括隔振基座(1)、激振装置(2)、升降装置(3)以及功能杆机构(4)；

所述升降装置(3)包括底部升降机构以及载物台机构，所述激振装置(2)、底部升降机构均安装在所述隔振基座(1)上；

所述载物台机构磁力悬浮于所述底部升降机构的上方并通过所述功能杆机构(4)连接所述激振装置(2)，其中，所述激振装置(2)能够驱使所述载物台机构在所述底部升降机构的上方沿第一方向和/或第二方向运动，所述第一方向垂直于所述第二方向；

所述底部升降机构包括第一永磁体(38)，所述载物台机构包括第二永磁体(39)、电磁线圈(310)以及光学载物平台(311)；

所述第二永磁体(39)、电磁线圈(310)均安装在所述光学载物平台(311)的下面并磁性悬浮于所述第一永磁体(38)的上方，所述光学载物平台(311)的上面为承载面；

所述隔振基座(1)包括上层隔振基座(12)以及下层隔振基座(11)，所述上层隔振基座(12)安装在所述下层隔振基座(11)上，所述上层隔振基座(12)、下层隔振基座(11)均采用大理石；

所述激振装置(2)包括两个激振机构，所述功能杆机构(4)包括两个直驱杆组件，其中，一个所述激振机构通过一个直驱杆组件连接所述载物台机构实现第一方向上的运动功能，另一个所述激振机构通过另一个直驱杆组件连接所述载物台机构实现第二方向上的运动功能；

所述底部升降机构包括安装底板(31)、升降台底座(33)、剪叉杆件(35)以及上支撑板(37)，所述安装底板(31)安装在上层隔振基座(12)上，所述剪叉杆件(35)的下端通过升降台底座(33)安装在所述安装底板(31)上，所述第一永磁体(38)通过所述上支撑板(37)安装在所述剪叉杆件(35)的上端；

所述直驱杆组件包括导轨(41)、滑块(42)、滑块安装座(43)、直驱杆(45)以及安装基座(48)；

所述直驱杆(45)的一端通过所述安装基座(48)安装在所述激振装置(2)上，所述直驱杆(45)的另一端通过所述滑块安装座(43)连接所述滑块(42)，所述载物台机构所具有的光学载物平台(311)上安装有导轨(41)，所述导轨(41)能够沿第一方向或第二方向与所述滑块(42)滑动配合。

2.根据权利要求1所述的高频非接触式双轴振动台，其特征在于，所述底部升降机构还包括升降调整转轮(36)，所述升降调整转轮(36)采用丝杠螺母结构并安装在所述剪叉杆件(35)上，通过旋拧所述升降调整转轮(36)能够实现所述剪叉杆件(35)高度的调整。

3.根据权利要求1所述的高频非接触式双轴振动台，其特征在于，所述第二永磁体(39)的直径小于第一永磁体(38)的直径；

通过控制所述电磁线圈(310)通电电流能够辅助调整所述载物台机构与底部升降机构之间的磁力。

4.根据权利要求1所述的高频非接触式双轴振动台，其特征在于，所述第二永磁体(39)、电磁线圈(310)均粘接在所述光学载物平台(311)上。

5.根据权利要求1所述的高频非接触式双轴振动台，其特征在于，所述直驱杆(45)采用一体成型的管结构，沿所述直驱杆(45)的内部腔室的长度方向上设置有加强筋(451)。

6.根据权利要求1所述的高频非接触式双轴振动台，其特征在于，所述上层隔振基座(12)可拆卸的安装在所述下层隔振基座(11)上。