[发明专利]气体检测装置

权利要求书

1.一种气体检测装置，其特征在于，具备：

光源，照射红外线；

第1腔室，配置在从所述光源照射出的红外线的光路上，供红外线通过，并供包含吸收红外线中第1波段的红外线的第1气体的样气通过；

第2腔室，配置在所述光路上，供红外线通过，并填充有吸收红外线中与所述第1波段部分重叠的第2波段的红外线的第2气体；

受光量检测部，对依次通过了所述第1腔室及所述第2腔室的红外线进行受光，并检测其受光量；

压力检测部，检测存在于所述第2腔室内的气体的压力；

运算部，基于所述受光量运算所述样气中的所述第1气体的浓度，

所述运算部基于所述压力校正所述第1气体的浓度。

2.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，

具备存储部，存储示出所述压力与所述样气中包含的所述第2气体的浓度的关系的校准曲线，

所述运算部基于所述校准曲线校正所述第1气体的浓度。

3.如权利要求1或2所述的气体检测装置，其特征在于，

所述第2腔室具有：分隔部，将该第2腔室内分隔为2个空间；以及连通部，使所述2个空间连通，

所述2个空间中的一方的空间供红外线通过，在另一方的空间配置有所述压力检测部。

4.如权利要求1～3的任一项所述的气体检测装置，其特征在于，所述第2腔室内的沿着所述光路的长度为5mm以上50mm以下。

5.如权利要求1～4的任一项所述的气体检测装置，其特征在于，所述第2腔室内的所述第2气体的浓度为20g/Nm³以上700g/Nm³以下。

6.如权利要求1～5的任一项所述的气体检测装置，其特征在于，所述压力检测部具有对所述压力的变化电检测的压电转换部。

7.如权利要求1～6的任一项所述的气体检测装置，其特征在于，具备调整所述第2腔室内的所述第2气体的浓度的调整部。

8.如权利要求1～7的任一项所述的气体检测装置，其特征在于，所述第1气体为二氧化硫气体，所述第2气体为甲烷气体。