[发明专利]一种声表面波磁传感器测试平台在审
| 申请号： | 202110336307.9 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113092875A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 林耿勋 | 申请（专利权）人： | 江苏冠猴智能控制设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G01R31/00;G01R35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 传感器 测试 平台 | ||
【权利要求书】：
1.一种声表面波磁传感器测试平台，其特征在于，包括声表面波磁传感器(1)、信号处理电路(2)和计算机(3)，声表面波磁传感器(1)通过信号处理电路(2)与计算机相连；所述的声表面波磁传感器(1)包括压电材料(11)和叉指换能器(12)，压电材料(11)上通过微纳加工工艺制备具有一定形状的叉指换能器(12)。
2.根据权利要求1所述的一种声表面波磁传感器测试平台，其特征在于，所述的压电材料(11)采用添加功能性薄膜的压电磁薄膜，厚度为5μm。
3.根据权利要求1所述的一种声表面波磁传感器测试平台，其特征在于，所述的压电磁薄膜通过缓冲层设置在基底材料(4)上，所述的基底材料(4)采用ST-X石英基底、AT-X石英基底、ZX-LiNbO3基底或YZ-LiNbO3基底。
4.根据权利要求1所述的一种声表面波磁传感器测试平台，其特征在于，所述的叉指换能器(12)的厚度为105-108nm。
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