[发明专利]石墨基板及其制造方法有效
| 申请号： | 202110347549.8 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113279056B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 葛永晖;梅劲;刘春杨;丁涛;陈张笑雄;王慧 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/18;C23C16/458;C23C16/455;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 及其 制造 方法 | ||
1.一种石墨基板，其特征在于，所述石墨基板(100)为圆盘，所述石墨基板(100)的第一表面上具有用于容纳衬底的多圈凹槽(100a)，所述多圈凹槽(100a)均与所述石墨基板(100)同轴，每圈所述凹槽(100a)均包括多个凹槽；
所述石墨基板(100)还包括沿所述石墨基板(100)的径向设置在所述石墨基板(100)的第一表面上的多个凸起结构(110)，所述多个凸起结构(110)位于所述多圈凹槽(100a)中的多个所述凹槽之间，且从所述石墨基板(100)的中心至所述石墨基板(100)的边缘方向，所述凸起结构(110)的高度逐渐升高，所述凸起结构(110)的高度为5～50um，所述凸起结构(110)在所述第一表面上的正投影为梯形，且所述梯形的下底朝向所述石墨基板(100)的中心，从所述石墨基板(100)的中心至所述石墨基板(100)的边缘方向，所述凸起结构(110)的宽度逐渐减小，所述凸起结构(110)的宽度为5～40um，所述凸起结构(110)的个数为n，n＝2m，m为所述石墨基板(100)上所述多圈凹槽(100a)的圈数，所述多个凸起结构(110)分布在所述多圈凹槽(100a)中除最内圈外的其它圈凹槽中。
2.一种石墨基板的制造方法，其特征在于，所述制造方法用于制造如权利要求1所述的石墨基板，所述制造方法包括：
在所述石墨基板的第一表面上形成用于容纳衬底的多圈凹槽，所述多圈凹槽均与所述石墨基板的同轴，每圈所述凹槽均包括多个凹槽；
沿所述石墨基板的径向在所述石墨基板的第一表面上形成多个凸起结构，所述多个凸起结构位于所述多圈凹槽中的多个所述凹槽之间，且从所述石墨基板的中心至所述石墨基板的边缘方向，所述凸起结构的高度逐渐升高，所述凸起结构的高度为5～50um，从所述石墨基板的中心至所述石墨基板的边缘方向，所述凸起结构的宽度逐渐减小。
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