[发明专利]一种气体泄漏检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种气体泄漏检测装置，其特征在于，包括光源（1）、光学劈尖（2）、图像处理单元（3）、用于遮挡外部干扰光的暗室（4）和用于密封待检测部（5）的密闭腔（6）；

所述密闭腔（6）对应待检测部（5）开设有检测孔；所述光学劈尖（2）置于暗室（4）内，并覆盖于所述检测孔上；所述光学劈尖（2）中填充有弹性材料，所述弹性材料能够在气体泄漏时发生形变；

所述光学劈尖（2）能够使光源（1）发射的光信号发生等厚干涉，并将等厚干涉图像反射至图像处理单元（3），所述图像处理单元（3）能够根据所接收的等厚干涉图像判断气体泄漏情况。

2.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述密闭腔（6）采用刚性材料。

3.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述光源（1）包括激光器，所述暗室（4）上设有扩束镜（7），所述激光器发出的激光能够经过扩束镜（7）照射至所述光学劈尖（2）。

4.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述暗室（4）内设有分光板（8），用于将光学劈尖（2）反射的等厚干涉图像反射至图像处理单元（3）。

5.根据权利要求4所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述暗室（4）上设有观察窗（9），所述图像处理单元（3）包括成像单元（10），所述分光板（8）能够将光学劈尖（2）反射的等厚干涉图像经观察窗（9）传送至成像单元（10）成像。

6.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述光学劈尖（2）包括罩设于弹性材料外部的楔形玻璃罩壳。

7.一种如权利要求1-6任一项所述的气体泄漏检测装置的检测方法，所述方法包括如下步骤：

采集光学劈尖（2）经光源（1）照射反射的等厚干涉图像；

将所采集等厚干涉图像与预存储的参考等厚干涉图像进行对比：若等厚干涉图像发生形变，则表明存在气体泄漏；否则，表明气体未泄漏；

其中，所述参考等厚干涉图像是指：在气体未泄漏状态下，由光学劈尖（2）经光源（1）照射反射的等厚干涉图像。