[发明专利]微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置

权利要求书

1.微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置，包括内部注入有过氧化氢的真空柜体(1)、过氧化氢浓度检测光发射模块(2)、过氧化氢浓度检测光接收模块(4)以及核心控制处理模块(7)，其特征在于：所述过氧化氢浓度检测光发射模块(2)通过发射端真空隔热密封件(3)固定于真空柜体(1)一侧壁上，所述过氧化氢浓度检测光发射模块(2)伸入真空柜体(1)内的发射端上连接有用于调节光程范围的光程调节模块(6)，所述过氧化氢浓度检测光发射模块(2)中设有光源驱动电路模块(9)，所述光源驱动电路模块(9)与核心控制处理模块(7)连接；

所述过氧化氢浓度检测光接收模块(4)通过接收端真空隔热密封件(5)固定于真空柜体(1)另一侧壁且接收头伸入真空柜体(1)内部，所述过氧化氢浓度检测光接收模块(4)中设有调理放大电路模块(10)，所述调理放大电路模块(10)与核心控制处理模块(7)连接；所述过氧化氢浓度检测光接收模块(4)和过氧化氢浓度检测光发射模块(2)在真空柜体(1)两侧同轴相对；

所述过氧化氢浓度检测光发射模块(2)用于向真空柜体(1)内部发射检测光，所述过氧化氢浓度检测光接收模块(4)用于接收由过氧化氢浓度检测光发射模块(2)发出的检测光，所述过氧化氢浓度检测光发射模块(2)和过氧化氢浓度检测光接收模块(4)之间的光程通过光程调节模块(6)调节后处于10--15cm之间且保证能够检测到真空柜体(1)内微量浓度低至0.4mg/L的过氧化氢，所述核心控制处理模块(7)对来自于氧化氢浓度检测光接收模块(4)的检测光信号进行处理分析后显示。

2.根据权利要求1所述的微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置，其特征在于：所述光程调节模块(6)包括多个光程调节分管，选择需要的光程调节分管依次连接形成能够保证光程处于10--15cm之间的光程调节管。

3.根据权利要求2所述的微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置，其特征在于：所述光程调节模块(6)包括8cm光程调节分管(6-1)、4cm光程调节分管(6-2)、2cm光程调节分管(6-3)、1cm光程调节分管(6-4)，选择两个及以上的所述光程调节分管连接形成能够保证光程处于10--15cm之间的光程调节管。

4.根据权利要求2或3所述的微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置，其特征在于：相邻两个所述光程调节分管之间通过螺纹旋合结构或者紧配合结构连接在一起。

5.根据权利要求1所述的微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置，其特征在于：所述发射端真空隔热密封件(3)和接收端真空隔热密封件(5)均使用聚四氟材质特制而成。

6.根据权利要求1所述的微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置，其特征在于：所述过氧化氢浓度检测光发射模块(2)为紫外光发射装置，所述过氧化氢浓度检测光接收模块(4)为紫外光接收装置，所述过氧化氢浓度检测光发射模块(2)发射出的紫外光波长为240nm、带宽50nm。

7.根据权利要求6所述的微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置，其特征在于：所述过氧化氢浓度检测光发射模块(2)包括发射端主体、发射端安装接头、紫外光发射组件；所述过氧化氢浓度检测光接收模块(4)包括接收端主体、接收端安装接头。

8.根据权利要求1所述的微量过氧化氢在真空环境下的浓度检测装置，其特征在于：所述核心控制处理模块(7)上连接有显示模块(8)。