[发明专利]一种多晶硅还原炉布棒方法、环状布棒多晶硅及用途在审

专利信息
申请号: 202110348420.9 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN113073385A 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 侯彦青;王品杰;袁兴平;赵丹;赵璐;马文会;谢刚;尤祥;官鹏;杨青宏 申请(专利权)人: 昆明理工大学
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 代理人: 田江飞
地址: 650093 云南省*** 国省代码: 云南;53
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 还原 炉布棒 方法 环状 用途
【权利要求书】:

1.一种多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述硅棒排布呈圆环状排布,所述圆环排布中任一圆环中任一硅棒距离该圆环的几何中心距离为R。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述每一圆环形成的几何图形在底盘呈正n边形分布。

3.如权利要求1所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述圆环排布中任一圆环中任一硅棒距离该圆环的几何中心距离R可以表示为与硅棒形成的正多边形相关的几何参数的代数式。

4.如权利要求3所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述几何参数的代数式为:

5.如权利要求4所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述代数式中m为每一环中一对硅棒中两硅芯之间间距。

6.如权利要求4所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述代数式中r为硅棒的最大沉积半径。

7.如权利要求4所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述代数式中i为硅棒沉积到最大半径时相邻两对硅棒所形成的圆截面最小距离。

8.如权利要求4所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述代数式中n为每一环硅棒在底盘所形成的中心对称图形的边数,n为正整数。

9.一种应用如权利要求1~8任意一项所述的多晶硅还原炉布棒方法得到的环状布棒多晶硅。

10.一种如权利要求9所述的环状布棒多晶硅在电子信息行业和太阳能光伏行业中的用途。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆明理工大学,未经昆明理工大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110348420.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top