[发明专利]一种多晶硅还原炉布棒方法、环状布棒多晶硅及用途在审
申请号: | 202110348420.9 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113073385A | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 侯彦青;王品杰;袁兴平;赵丹;赵璐;马文会;谢刚;尤祥;官鹏;杨青宏 | 申请(专利权)人: | 昆明理工大学 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人: | 田江飞 |
地址: | 650093 云南省*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 炉布棒 方法 环状 用途 | ||
1.一种多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述硅棒排布呈圆环状排布,所述圆环排布中任一圆环中任一硅棒距离该圆环的几何中心距离为R。
2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述每一圆环形成的几何图形在底盘呈正n边形分布。
3.如权利要求1所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述圆环排布中任一圆环中任一硅棒距离该圆环的几何中心距离R可以表示为与硅棒形成的正多边形相关的几何参数的代数式。
4.如权利要求3所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述几何参数的代数式为:
5.如权利要求4所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述代数式中m为每一环中一对硅棒中两硅芯之间间距。
6.如权利要求4所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述代数式中r为硅棒的最大沉积半径。
7.如权利要求4所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述代数式中i为硅棒沉积到最大半径时相邻两对硅棒所形成的圆截面最小距离。
8.如权利要求4所述的多晶硅还原炉布棒方法,其特征在于,所述代数式中n为每一环硅棒在底盘所形成的中心对称图形的边数,n为正整数。
9.一种应用如权利要求1~8任意一项所述的多晶硅还原炉布棒方法得到的环状布棒多晶硅。
10.一种如权利要求9所述的环状布棒多晶硅在电子信息行业和太阳能光伏行业中的用途。
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