[发明专利]一种磁记录用钛铬合金溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110349467.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113088900A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C14/00;C22C27/06 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 记录 用钛铬 合金 溅射 制备 方法 | ||
1.一种磁记录用钛铬合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
将铬粉以及钛粉在保护气体下进行混合，得到混合粉末；将混合后的粉末装入模具进行脱气处理，脱气后进行热等静压处理，得到所述钛铬合金溅射靶材。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述混合粉末中钛粉的含量为13～95at％；
优选地，所述铬粉和钛粉的粒径分别独立地为30～100μm。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述保护气体的压力为0.02～0.06MPa；
优选地，所述保护气体包括氮气、氦气或氩气中的任意一种或至少两种的组合。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述混合在V型混粉机中进行。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述V型混粉机的转速为5～15rpm；
优选地，所述混合的时间为18～32h。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述脱气的温度为300～600℃；
优选地，所述脱气的时间为4～8h。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述脱气后模具中的真空度小于5.0×10-3Pa。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热等静压处理的温度为600～1200℃；
优选地，所述热等静压处理的压力为90～170MPa；
优选地，所述热等静压处理的时间为3～6h。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热等静压处理后对得到的所述钛铬合金溅射靶材进行机加工、检测、清洗和包装。
10.根据权利要求1-9任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
将粒径为30～100μm的铬粉以及钛粉按照质量比(3～7):(7～3)在保护气体下在V型混粉机中进行混合，所述V型混粉机的转速为5～15rpm，所述混合的时间为18～32h，保护气体的压力为0.02～0.06MPa，得到混合粉末；将混合后的粉末装入模具300～600℃下进行脱气处理4～8h，所述脱气后模具中的真空度小于5.0×10-3Pa，脱气后在600～1200℃以及90～170MPa进行热等静压处理3～6h，得到所述钛铬合金溅射靶材。
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