[发明专利]一种透明导电薄膜及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将丙烯酸乳液与乙醇混合后微孔过滤，得到掩膜液；所述微孔过滤为先用40μm 的细胞筛过滤，再选用中速滤纸进行真空抽滤；

将所述掩膜液涂覆在基底上形成湿膜，干燥后得到具有随机裂缝的掩膜层；所述基底为聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃；所述湿膜由掩膜液离心匀胶形成，当所述基底为聚对苯二甲酸乙二醇酯时，所述离心匀胶的转速为2000~2500r/min；当所述基底为玻璃时，所述离心匀胶的转速为1000~1500r/min；所述裂缝的宽度为亚微米级；

在所述掩膜层表面进行金属沉积，之后除去掩膜层，得到透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述丙烯酸乳液为水性丙烯酸树脂乳液。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，当所述基底为聚对苯二甲酸乙二醇酯时，所述干燥的温度不超过160℃，干燥的时间为0.5~2h；当所述基底为玻璃时，所述干燥的温度不超过100℃，干燥的时间为0.5~2h。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属沉积的方法为磁控溅射；所述磁控溅射的参数包括：直流溅射功率为60W~100W，溅射气体为氩气，工作气压为0.1~0.3Pa，靶材为导电金属。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述除去掩膜层为试剂溶解掩膜层，所述试剂为氯仿、丙酮、无水乙醇、四氢呋喃、丙二醇甲醚醋酸酯、乙腈和乙酸正丁酯中的一种或多种。

6.权利要求1~5任意一项所述制备方法制备得到的透明导电薄膜，其特征在于，所述透明导电薄膜无节点电阻。

7.权利要求6所述透明导电薄膜在OLED透明阳极、太阳能电池、超级电容器或传感器中的应用。