[发明专利]一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法

权利要求书

1.一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置，其特征在于，所述基于向量乱流法的化学蚀刻装置包括：蚀刻液喷嘴、喷管、导流板及目标线路板；所述蚀刻液喷嘴安装于所述喷管下方，所述导流板安装于蚀刻机上方，所述目标线路板通过向量蚀刻区时是由上下传动轴控制其前进速度，其中所述蚀刻液喷嘴用于固定释放预设流量和预设粒径的蚀刻液；

所述导流板包括导流板第一部分、导流板第二部分、导流板第三部分及导流板第四部分；其中：

所述导流板第一部分，用于包裹所述喷管的上半部分；

所述导流板第二部分A区，是以45度连接所述导流板第一部分及所述导流板第三部分，并控制蚀刻液产生方向性乱流，和移动中目标线路板成45度向量，所述45度向量可分析成水平和向下两个分向量，水平分向量将使蚀刻液向前流动，向下分向量则对乱流施以向下的压力，有助于乱流进入微孔和细线路；

所述导流板第三部分B区与所述目标线路板平行1.5 ~ 2公分距离，因容积减小，蚀刻液流速因而增加并产生乱流；

所述导流板第四部分即钛墙与所述导流板第三部分垂直接合C/D/E区，蚀刻液的上半部分在此受到阻挡产生空泡和乱流，并以预设的角度向一侧排放，所述角度决定于喷嘴与喷管设置的角度；蚀刻液的下半部分通过钛墙下方的空栅D区进入传动轴和目标线路板相交形成的E区，通过旋转中传动轴底部时受到强大的压力，促使乱流进入微孔和细线路进行蚀刻。

2.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置，其特征在于，目标线路板面上左右都有一个传动轴，目标线路板下面则有2-4个传动轴以承载行进中目标线路板的重量和蚀刻液压力；上面两个轴除了辅助传动和稳定前进中的目标线路板外，它重要的功能是产生乱流和增加下压向量。

3.如权利要求2所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置，其特征在于，目标线路板下面设有3个传动轴。

4.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻液喷嘴，用于喷出扇形蚀刻液，并控制蚀刻液以预设角度冲击目标线路板；每一支喷嘴覆盖的扇形范围决定于喷嘴至目标线路板之间距离，喷液宽度1-5公分，和扇形角度90-110度，每一个1.25 米 × 1.25米刻蚀区域安置2-3个向量蚀刻单元。

5.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置，其特征在于，以所述喷管为中线，导流板分左右两个对称的蚀刻区，每个区的导流板分第一至第四部分。

6.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置，其特征在于，所述喷嘴为扇形喷嘴，以所述扇形喷嘴的中心为基点，扇形喷液分左右两个半扇形，扇形喷液的全幅度为110度，由左右两个55度半扇形组成；左半扇形喷液流向左侧蚀刻区导流板，并以喷嘴预设角度前进，右半扇形喷液则以反方向流向右侧蚀刻区导流板，并以喷嘴预设角度前进。

7.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置，其特征在于，未被携带至轴底部的蚀刻液因流动被传动轴阻挡而产生乱流，并向一侧以预设角度流动，所述预设角度即扇形喷嘴在喷管上设定之角度10-45度。

8.如权利要求7所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置，其特征在于，未被携带至轴底部的蚀刻液因流动被传动轴阻挡而产生乱流，并向一侧以预设角度流动，所述预设角度即扇形喷嘴在喷管上设定之角度25度。

9.一种蚀刻机，所述蚀刻机包括根据权利要求1至8中任一项所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置。