[发明专利]VO2有效

专利信息
申请号: 202110354810.7 申请日: 2021-04-01
公开(公告)号: CN113105235B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 杨晓磊;徐时清;朱宁宁;白功勋;谢杭清 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: C04B35/495 分类号: C04B35/495;C04B35/622;G01J1/42;H01L31/032;H01L31/108
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 林松海
地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: vo base sub
【权利要求书】:

1.一种光敏半导体材料VO2陶瓷,其特征在于:采用微米级粒径的VO2粉剂,在保护气氛中400℃烧结制备获得;

制备方法如下:

1)将市售VO2粉剂研磨至微米级粒径,然后加入VO2质量六分之一的甲胺碘(MAI),通过研磨混合均匀;

2)将步骤1)中制备的混合粉末以7MPa的压强压片;

3)将步骤2)中的VO2片放入通氩气的管式炉中,以6.7℃/min的速率升温至400℃,在400℃烧结5小时,然后以不大于3.4℃/min的速率降温至室温,获得VO2陶瓷片。

2.一种高响应度的VO2陶瓷红外弱光探测器,其特征在于:

采用根据权利要求1所述的VO2陶瓷作为光敏半导体,采用金属银制作阴阳电极;

探测10mW的980nm红外光时,实现安培级的高光电流,实现不低于10A/W级的高响应度。

3.根据权利要求2所述的高响应度的VO2陶瓷红外弱光探测器的电压调控方法,其特征在于:

驱动电压小于临界值时响应度较低;

驱动电压高于临界值时,信号光照射下探测器由高阻态变为低阻态,电流大幅增大,获得高响应度;

通过减小驱动电压至临界值之下,使探测器从低阻态恢复至高阻态;

所述临界值由实验确定。

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