[发明专利]基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法

权利要求书

1.一种基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，包括：

激光输出模块(10)，用于控制输出入射光；

微型气室(50)，设置于所述入射光的光路上，所述微型气室(50)包括第一层玻璃(510)、第二层玻璃(520)以及具有通孔的硅结构(530)，所述硅结构(530)设置于所述第一层玻璃(510)与所述第二层玻璃(520)之间，所述入射光入射至所述第一层玻璃(510)，并经过所述通孔入射至所述第二层玻璃(520)，所述通孔中放置原子或者分子源；

反射结构(540)，设置于所述第二层玻璃(520)远离所述硅结构(530)的表面，用于将经所述第二层玻璃(520)的所述入射光进行反射，形成反射光；

光电探测模块(60)，设置于所述反射光的光路上，用于对所述反射光进行探测，并将所述反射光的光信号转换成电信号；

温度计算模块(70)，与所述光电探测模块(60)电连接，用于获取所述电信号，并根据所述电信号计算温度。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，所述基于MEMS微型气室的原级温度计还包括：

准直模块(40)，设置于所述入射光的光路上，用于将所述入射光转换成平行入射光；

且所述准直模块(40)设置于所述反射光的光路上，用于将所述反射光转换成平行反射光。

3.根据权利要求2所述的基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，所述基于MEMS微型气室的原级温度计还包括：

环形器(20)，设置于所述入射光的光路上，所述激光输出模块(10)控制输出的所述入射光经所述环形器(20)后入射至所述准直模块(40)；

所述环形器(20)设置于所述反射光的光路上，经所述准直模块(40)后形成的所述平行反射光入射至所述环形器(20)，并经所述环形器(20)后入射至所述光电探测模块(60)。

4.根据权利要求3所述的基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，所述基于MEMS微型气室的原级温度计还包括：

保偏光纤(30)，所述保偏光纤(30)的一端与所述环形器(20)连接，所述保偏光纤(30)的另一端与所述准直模块(40)连接。

5.根据权利要求1所述的基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，所述激光输出模块(10)包括：

激光光源(110)；

控制系统(120)，与所述激光光源(110)电连接，用于对所述激光光源(110)进行电流或电压调制，并控制所述激光光源(110)输出所述入射光。

6.根据权利要求5所述的基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，所述激光光源(110)为可见光输出波段的激光器。

7.根据权利要求2所述的基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，所述准直模块(40)为准直器。

8.根据权利要求1所述的基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，所述光电探测模块(60)为光电探测器。

9.根据权利要求1所述的基于MEMS微型气室的原级温度计，其特征在于，所述反射结构(540)为金属反射膜。

10.一种基于MEMS微型气室的原级温度计的测量方法，其特征在于，采用权利要求1至9中任一项所述的基于MEMS微型气室的原级温度计进行测量。