[发明专利]大理石精密工作台气浮顶升机构

说明书

本发明提供大理石精密工作台气浮顶升机构，涉及顶升机构领域。该大理石精密工作台气浮顶升机构，包括缸体，所述缸体的上端固定连接有顶盖，所述顶盖的上端固定连接有大理石平台，所述缸体的内部固定连接有活塞，所述活塞为三段阶梯式圆柱形，且内部为中空设置，所述活塞的下端固定连接有气浮垫，所述缸体和活塞之间的腔室构成第一气室，所述第一气室的内部设置有弹簧，所述缸体的侧壁固定连接有第一连接口，所述顶盖的内部且在活塞的上方的腔室构成第二气室，所述顶盖的侧壁固定连接有第二连接口。设置有第二气室，通过第二连接口泵入气体，实现机构的顶升，利于装置的维修，同时设置有第一气室，并配合弹簧，实现机构的复位。

技术领域

本发明涉及顶升机构技术领域，具体为大理石精密工作台气浮顶升机构。

背景技术

工作台部分是光刻机的核心部分，光刻机工件台主要是携带硅片或玻璃基板等工件在物镜下随掩模台保持同步运动，并完成精确的曝光工作。工作台运动平稳性对安装在其上的光学部件,精密传感器以及其他部件的定位精度有着一定的影响；因此,研制精密顶升气浮机构使工作台在维修时无接触、无振动移动是研发高精密光刻机的基础保证。

现有用于光刻机的工作平台，虽然具有在水平面上移动，但是并没有可以顶升的工作台。在工作平台进行检修、试验时，不能够保证检修、试验时造成工作平台的精度影响。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了大理石精密工作台气浮顶升机构，解决了现有光刻机工作平台缺少气浮顶升的功能，不利于工作平台的检修工作的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：大理石精密工作台气浮顶升机构，包括缸体，所述缸体的上端固定连接有顶盖，所述顶盖的上端固定连接有大理石平台，所述缸体的内部固定连接有活塞，所述活塞为三段阶梯式圆柱形，且内部为中空设置，所述活塞的下端固定连接有气浮垫，所述缸体和活塞之间的腔室构成第一气室，所述第一气室的内部设置有弹簧；

所述缸体的侧壁固定连接有第一连接口，所述第一连接口和第一气室连通，所述顶盖的内部且在活塞的上方的腔室构成第二气室，所述顶盖的侧壁固定连接有第二连接口，所述第二连接口和第二气室连通。

优选的，所述弹簧的上端抵住活塞的侧壁，所述弹簧的下端抵住缸体的内壁。

优选的，所述缸体的内壁依次固定连接有第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈和活塞的下段侧壁接触，所述第二密封圈和活塞的中段侧壁接触。

优选的，所述活塞的上段侧壁固定连接有第三密封圈，所述第三密封圈和顶盖的内壁接触。

优选的，所述顶盖的内部固定连接有支撑环，所述支撑环的数量为三道。

优选的，所述顶盖的边缘等角度设置第一通孔，所述第一通孔处设置有第一螺栓，所述顶盖通过第一螺栓和大理石平台固定连接。

优选的，所述顶盖的边缘等角度设置第二通孔，且第二通孔向下贯穿，所述第二通孔处设置有第二螺栓，所述顶盖通过第二螺栓和缸体固定连接。

优选的，所述气浮垫的下端设置有第三螺栓，所述气浮垫通过第三螺栓和活塞固定连接。

工作原理：本发明可以分为自然状态和工作状态：

1、自然状态：活塞受弹簧的作用，活塞向上滑动，相对的缸体向下滑动，并将气浮垫收纳至缸体的内部；