[发明专利]一种基于TSV宽带帯阻滤波器在审
申请号: | 202110357208.9 | 申请日: | 2021-04-01 |
公开(公告)号: | CN113285186A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 王凤娟;侯仓仓;余宁梅;杨媛;朱樟明;尹湘坤 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学 |
主分类号: | H01P1/20 | 分类号: | H01P1/20 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 燕肇琪 |
地址: | 710048 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 tsv 宽带 滤波器 | ||
1.一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,包括重布线层(3),所述重布线层(3)的底部连接有硅通孔组件,所述重布线层(3)的两端分别设置有输出端(2)和输入端(1)。
2.如权利要求1所述的一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,所述重布线层(3)的底部设置有互联建(8),所述互联建(8)的一端连接重布线层(3),所述互联建(8)的另一端连接硅通孔组件。
3.如权利要求2所述的一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,所述硅通孔组件包括硅通孔a(4)、硅通孔b(5)、硅通孔c(6)、硅通孔d(7),所述硅通孔a(4)、硅通孔b(5)、硅通孔c(6)、硅通孔d(7)的位置均相互对称,所述硅通孔a(4)、硅通孔b(5)、硅通孔c(6)、硅通孔d(7)的结构相同。
4.如权利要求3所述的一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,所述硅通孔a(4)包括金属芯层(9),所述金属芯层(9)的外壁设置有介质层(10),所述硅通孔a(4)、硅通孔b(5)、硅通孔c(6)、硅通孔d(7)均设置在硅材料层(11)上。
5.如权利要求4所述的一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,所述介质层(10)为二氧化硅材料。
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