[发明专利]一种基于TSV宽带帯阻滤波器在审

专利信息
申请号: 202110357208.9 申请日: 2021-04-01
公开(公告)号: CN113285186A 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 王凤娟;侯仓仓;余宁梅;杨媛;朱樟明;尹湘坤 申请(专利权)人: 西安理工大学
主分类号: H01P1/20 分类号: H01P1/20
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 燕肇琪
地址: 710048 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 tsv 宽带 滤波器
【权利要求书】:

1.一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,包括重布线层(3),所述重布线层(3)的底部连接有硅通孔组件,所述重布线层(3)的两端分别设置有输出端(2)和输入端(1)。

2.如权利要求1所述的一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,所述重布线层(3)的底部设置有互联建(8),所述互联建(8)的一端连接重布线层(3),所述互联建(8)的另一端连接硅通孔组件。

3.如权利要求2所述的一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,所述硅通孔组件包括硅通孔a(4)、硅通孔b(5)、硅通孔c(6)、硅通孔d(7),所述硅通孔a(4)、硅通孔b(5)、硅通孔c(6)、硅通孔d(7)的位置均相互对称,所述硅通孔a(4)、硅通孔b(5)、硅通孔c(6)、硅通孔d(7)的结构相同。

4.如权利要求3所述的一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,所述硅通孔a(4)包括金属芯层(9),所述金属芯层(9)的外壁设置有介质层(10),所述硅通孔a(4)、硅通孔b(5)、硅通孔c(6)、硅通孔d(7)均设置在硅材料层(11)上。

5.如权利要求4所述的一种基于TSV宽带帯阻滤波器,其特征在于,所述介质层(10)为二氧化硅材料。

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