[发明专利]移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法

说明书

本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

本发明为申请日为2017年9月29日，申请号为“201780058140.6”，发明名称为“移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法”的发明专利的分案申请。

技术领域

本发明是关于移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法。

背景技术

以往，于制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微元件)的光刻工艺，使用通过投影光学系统(透镜)以照明光(能量束)使感光性的玻璃板或晶圆(以下，统称为“基板”)曝光，据以将光掩膜(photomask)或标线片(以下，统称为“光掩膜”)所具有的既定图案转印至该基板的曝光装置。

作为此种曝光装置，有一种具备使用基板载台装置所具有的长条镜(bar mirror)来求出曝光对象基板于水平面内的位置信息的光干涉仪系统者广为人知(例如，参照专利文献1)。

此处，使用光干涉仪系统求出基板的位置信息的情形时，因激光至长条镜的光路长较长，而无法忽视所谓空气波动的影响。

先行技术文献

专利文献

[专利文献1]美国专利申请公开第2010/0266961号说明书

发明内容

解决课题的手段

本发明第1态样提供一种移动体装置，具备：第1移动体，其能保持物体、并往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往该第2方向移动；基准构件，其于该第1及第2方向，作为该第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可通过于该第1方向彼此分离配置的多个格子区域测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可测量该第1移动体于该第2方向的移动范围；以及控制系统，根据该多个第1读头中、该多个第1读头的测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对于该基准构件的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；该第1测量系统，一边使该第1读头相对该第1格子区域往该第1方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该第2测量系统，一边使该第2读头相对该第2格子区域往该第2方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该多个读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个脱离，并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域；该控制系统，将用以使用该多个读头中、与该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的该至少3个读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该至少3个读头的测量信息或使用该至少3个读头测量的该第1移动体的位置信息加以取得。