[发明专利]动态气体锁的测试装置及应用其测试的方法

权利要求书

1.一种动态气体锁的测试装置，应用于动态气体锁，所述动态气体锁设置于高清洁腔室与低清洁腔室之间，其特征在于，包括：

真空腔室系统，所述真空腔室系统包括所述高清洁腔室和所述低清洁腔室；

清洁气体系统，所述清洁气体系统包括高纯清洁气源箱，所述高纯清洁气源箱能够与所述动态气体锁连通；

污染气体系统，所述污染气体系统包括高纯污染气源箱，所述高纯污染气源箱能够与所述低清洁腔室连通；

气体分析系统，所述气体分析系统包括第一气体分析器和第二气体分析器，所述第一气体分析器能够与所述高清洁腔室连通，所述第二气体分析器能够与所述低清洁腔室连通；

抽真空泵组，所述抽真空泵组能够与所述低清洁腔室和所述高清洁腔室连通；

控制器，所述控制器控制所述高纯清洁气源箱与所述动态气体锁连通或断开，控制所述高纯清洁气源箱与所述低清洁腔室连通或断开，控制所述高纯清洁气源箱与所述高清洁腔室连通或断开，控制所述高纯污染气源箱与所述低清洁腔室连通或断开，控制所述第一气体分析器与所述高清洁腔室连通或断开，控制所述第二气体分析器与所述低清洁腔室连通或断开，控制所述抽真空泵组与所述低清洁腔室和所述高清洁腔室连通或断开。

2.根据权利要求1所述的动态气体锁的测试装置，其特征在于，所述抽真空泵组包括第一真空泵组和第二真空泵组，所述第一真空泵组能够与所述高清洁腔室连通，所述第二真空泵组能够与所述低清洁腔室连通；所述控制器控制所述第一真空泵组与所述高清洁腔室连通或断开，所述控制器控制所述第二真空泵组与所述低清洁腔室连通或断开。

3.根据权利要求2所述的动态气体锁的测试装置，其特征在于，所述抽真空泵组还包括第三真空泵组，所述控制器控制所述第三真空泵组与所述高清洁腔室连通或断开。

4.根据权利要求2所述的动态气体锁的测试装置，其特征在于，所述第一真空泵组与所述高清洁腔室连通管路上设置有第一泵口真空计，所述第二真空泵组与所述低清洁腔室连通管路上设置有第二泵口真空计。

5.根据权利要求1所述的动态气体锁的测试装置，其特征在于，所述高纯清洁气源箱通过清洁管道与所述动态气体锁连通，所述清洁管道上设置有截断阀；所述高纯污染气源箱通过污染管道与所述低清洁腔室连通，所述污染管道上设置有气体调节阀；所述控制器控制所述截断阀和所述气体调节阀开启或关闭。

6.根据权利要求5所述的动态气体锁的测试装置，其特征在于，所述清洁气体系统还包括设置于所述清洁管道上的纯化器和气体流量控制器，所述纯化器设置于所述高纯清洁气源箱的出口端。

7.根据权利要求5所述的动态气体锁的测试装置，其特征在于，所述污染气体系统还包括气流分布器，所述气流分布器设置于所述污染管道的出口端，所述气流分布器靠近所述动态气体锁设置。

8.根据权利要求1所述的动态气体锁的测试装置，其特征在于，所述动态气体锁的测试装置还包括温度测量系统，所述温度测量系统包括测温仪，及与所述测温仪连接的第一温度传感器和第二温度传感器，所述第一温度传感器设置于所述高清洁腔室内，所述第二温度传感器设置于所述低清洁腔室内，且所述第一温度传感器和所述第二温度传感器靠近所述动态气体锁设置。

9.根据权利要求1所述的动态气体锁的测试装置，其特征在于，所述动态气体锁的测试装置包括第一真空计和第二真空计，所述第一真空计设置于所述高清洁腔室上，所述第二真空计设置于所述低清洁腔室上。

10.一种动态气体锁的测试方法，其特征在于，应用动态气体锁的测试装置，包括以下具体步骤：

控制高清洁腔室和低清洁腔室抽真空；

控制动态气体锁充入给定流量和成分的清洁气体；

控制低清洁腔室充入给定流量的污染气体；

获取所述高清洁腔室和所述低清洁腔室的真空度，计算出所述高清洁腔室和所述低清洁腔室的流量；

获取所述高清洁腔室和所述低清洁腔室的污染气体的浓度和总压，从而计算出动态气体锁对污染气体的抑制率。