[发明专利]一种极薄铼箔的制造方法

权利要求书

1.一种极薄铼箔的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）纯铼压坯的制备：将粒度为-100～-300目、纯度4N以上的铼粉置于压力机中，在压力100～200Mpa下制成厚度为10mm的纯铼压坯；铼粉在压制制坯过程中，不添加任何的添加剂，直接压制成坯；

2）将纯铼压坯置于真空炉或高温炉中，进行高温烧结，制备出结晶均匀的纯铼板坯；

3）连续化轧制及退火：对纯铼板坯采用多辊轧机和退火联动的连续化轧制，进行连续化轧制与退火直到得到铼薄片材；

4）蚀刻减薄精轧成箔：将步骤3）获得的铼薄片材采用化学刻蚀减薄与多辊轧机精轧并行的联合轧制流程，最终获得目标产品极薄铼箔，所述极薄铼箔的厚度为9～11微米。

2.根据权利要求1所述的一种极薄铼箔的制造方法，其特征在于，步骤2）中，所述高温烧结是，在温度2400℃下烧结5～8 h。

3.根据权利要求1所述的一种极薄铼箔的制造方法，其特征在于，步骤2）中，所获得的纯铼板坯的密度控制在17.8～18.3 g/cm³。

4.根据权利要求1所述的一种极薄铼箔的制造方法，其特征在于，步骤3）中，所获得的铼薄片材的厚度为90～150微米。

5.根据权利要求1所述的一种极薄铼箔的制造方法，其特征在于，步骤3）中，多辊轧机为轧制力在100T～700T之间的多级轧制组合，道次变形量控制在2～10%，退火温度1600～1900℃，退火时间为20～60min。

6.根据权利要求1所述的一种极薄铼箔的制造方法，其特征在于，步骤4）中，所述化学刻蚀方法是：将铼薄片材经喷砂处理后，再浸入硝酸或硫酸中进行腐蚀减薄。

7.根据权利要求6所述的一种极薄铼箔的制造方法，其特征在于，所述硝酸或硫酸的质量百分浓度为10～30%。