[发明专利]一种低温低压气相沉积镀层纺织品的制备方法在审
申请号: | 202110365631.3 | 申请日: | 2021-04-06 |
公开(公告)号: | CN113088897A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 郑奇标 | 申请(专利权)人: | 苏州梵尔仕新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/54 |
代理公司: | 六安市新图匠心专利代理事务所(普通合伙) 34139 | 代理人: | 朱小杰 |
地址: | 215200 江苏省苏州市吴江区平*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 压气 沉积 镀层 纺织品 制备 方法 | ||
1.一种低温低压气相沉积镀层纺织品的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:前期准备:准备一个具备高压电流电弧靶蒸发离化源的纺织品气相沉积镀层设备Q1与纺织品镀层反应设备Q2,并检查纺织品气相沉积镀层设备Q1与纺织品镀层反应设备Q2的密封性,且纺织品镀层反应设备Q2内部设置有能随纺织品的尺寸调整的纺织品放置机构,将纺织品气相沉积镀层设备Q1与纺织品镀层反应设备Q2通过连接管道进行连接,且连接管道应设置有控制阀用以开启或关闭连接管道;
S2:辅助机构连接:接着将温度调节机构Q3与气压调节机构Q4与纺织品镀层反应设备Q2通过调节管道进行连接,并设置控制机构控制调节管道的开启与关闭,温度调节机构Q3与气压调节机构Q4均位于纺织品镀层反应设备Q2的底部,温度调节机构Q3与气压调节机构Q4使纺织品镀层反应设备Q2内部空气自上往下进行循环,再次检查连接后的纺织品镀层反应设备Q2密封性,避免制备过程中设备漏气影响纺织品的制备;
S3:镀层原料分解:将镀层需要的原料放入纺织品气相沉积镀层设备Q1中,通过高压电流电弧靶蒸发离化源将镀层原料分解为气态的离子体,接着将纺织品放入纺织品镀层反应设备Q2中,纺织品原料放置完成后,开启纺织品气相沉积镀层设备Q1与纺织品镀层反应设备Q2之间的连接管道,使得纺织品气象沉积镀层设备Q1中的游离离子进入纺织品镀层反应设备Q2中;
S4:纺织品镀层:当游离离子进入纺织品镀层反应设备Q2中后,分别开启温度调节机构Q3与气压调节机构Q4,对纺织品镀层反应设备Q2内部的温度以及气压进行调节,游离离子低温低压情况下在纺织品表层聚积,从而形成沉积薄膜层,同时,气体分子分布的不均匀在很短的时间内可以消除,所以能生长出厚度均匀的镀层,从而得到性能更为优良的纺织品;
S5:数据收集:随着温度与气压的不断变化,镀层形成的速度也会出现相应变化,此时数据采集设备将纺织品镀层反应设备Q2内部的温度T及气压P数值进行收集整理,得到相关数据,并随着数据变化研究温度T以及气压P对纺织品镀层效果的影响,并借此研究出最有利于纺织品镀层成型的条件,从而得到最佳镀层方案,并以此节约生产资源,降低生产成本。
2.根据权利要求1所述的一种低温低压气相沉积镀层纺织品的制备方法,其特征在于,所述数据采集设备包括温度传感器、压力传感器、计算机以及数据采集器。
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