[发明专利]真空搬运装置及搬运方法

权利要求书

1.一种真空搬运装置，其特征在于，包括：

传送机构；以及，

承载机构，所述承载机构设置在所述传送机构上，并可随所述传送机构移动，所述承载机构包括第一吸附构件以及第二吸附构件，所述第一吸附构件与所述第二吸附构件相对设置，且所述第一吸附构件和所述第二吸附构件还设置有顶出孔；

顶出机构，所述顶出机构设置在所述承载机构内，所述顶出机构可相对所述第一吸附构件和所述第二吸附构件进行伸缩，所述顶出机构包括顶针，且所述顶针的长度小于所述承载机构的厚度，当所述真空搬运装置不工作时，所述顶针收缩在所述顶出孔内；

供电装置，所述供电装置设置在所述第一吸附构件与所述第二吸附构件之间；

其中，所述第一吸附构件和所述第二吸附构件具有吸附面，当所述第一吸附构件吸附完成后，所述承载机构在所述传送机构的容纳腔内翻转，以使所述第一吸附构件朝下，所述第二吸附构件朝上，并使所述第二吸附构件对基板进行吸附。

2.根据权利要求1所述的真空搬运装置，其特征在于，当进行真空搬运时，所述顶出机构相对所述第一吸附构件或所述第二吸附构件伸出。

3.根据权利要求1所述的真空搬运装置，其特征在于，所述顶出孔与所述顶出机构对应设置，当所述真空搬运装置工作时，所述顶出机构沿着所述顶出孔伸出。

4.根据权利要求1所述的真空搬运装置，其特征在于，所述传送机构包括第一工作区域、第二工作区域以及第三工作区域，所述第一工作区域与所述第二工作区域相邻，所述第二工作区域与所述第三工作区域相邻，且所述真空搬运装置在所述第一工作区域、第二工作区域以及第三工作区域内的工作状态均不相同。

5.根据权利要求4所述的真空搬运装置，其特征在于，所述真空搬运装置还包括钻孔装置，所述钻孔装置对应的设置在所述第三工作区域内。

6.根据权利要求1所述的真空搬运装置，其特征在于，所述传送机构包括L型传送装置或T型传送装置。

7.一种真空搬运方法，其特征在于，包括如下步骤：

S100：放置多个基板，并将所述基板传送到真空搬运装置的第一工作区域内；

S101：所述真空搬运装置中的供电装置向承载机构供电，所述承载机构包括第一吸附构件以及第二吸附构件，供电后所述承载机构上的第一吸附构件对所述基板进行吸附，吸附完成后，将所述承载机构在传送机构的容纳腔内翻转，以使所述第一吸附构件朝下，所述第二吸附构件朝上，并使所述第二吸附构件对基板进行吸附；

S102：所述承载机构上的第二吸附构件对所述基板进行吸附，所述第二吸附构件吸附完成后，将所述承载机构传送第二工作区域内；

S103：在所述第二工作区域内对所述第一吸附构件上吸附的所述基板进行钻孔，钻孔完成后将所述承载机构翻转，并对所述第二吸附构件上吸附的所述基板钻孔；

S104：将所述承载机构传送至第三工作区域内，并将所述第一吸附构件上的所述基板取出，翻转所述承载机构，并将所述第二吸附构件上的所述基板取出，完成搬运。

8.根据权利要求7所述的真空搬运方法，其特征在于，所述基板传送至所述承载机构的过程中，所述承载机构内的顶出机构伸出，通过所述顶出机构对所述基板进行支撑并移动，移动完成后，所述顶出机构下降收回。