[发明专利]杆头表面处理方法在审
| 申请号： | 202110367046.7 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN115161598A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李宝斌;陆钿炜;林君夏 | 申请（专利权）人： | 中山鼎兴真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 刘祖芬 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 处理 方法 | ||
1.一种杆头表面处理方法，其特征在于，包括：
将一杆头半成品置于真空环境中，该杆头半成品具有一物理气相层积膜；
于该真空环境中通入一工作气体；及
对该杆头半成品的物理气相层积膜施加电压，以于该物理气相层积膜的表面形成一渗透层。
2.如权利要求1所述的杆头表面处理方法，其特征在于，该工作气体为氮气或乙炔。
3.如权利要求1所述的杆头表面处理方法，其特征在于，以300～700sccm的流量通入该工作气体。
4.如权利要求1所述的杆头表面处理方法，其特征在于，于140～160℃的温度下对该杆头半成品的物理气相层积膜施加电压。
5.如权利要求1所述的杆头表面处理方法，其特征在于，对该杆头半成品的物理气相层积膜额外施加500～700V的偏压，以使该工作气体产生的气体原子作用于该物理气相层积膜的表面。
6.如权利要求1所述的杆头表面处理方法，其特征在于，于0.8～1.2Pa真空度的该真空环境中通入该工作气体。
7.如权利要求6所述的杆头表面处理方法，其特征在于，于0.95～1Pa真空度的该真空环境中通入该工作气体。
8.如权利要求1所述的杆头表面处理方法，其特征在于，对该杆头半成品的物理气相层积膜施加电压，使该工作气体产生的气体原子作用于该物理气相层积膜的表面20～40分钟。
9.如权利要求8所述的杆头表面处理方法，其特征在于，该工作气体产生的气体原子作用于该物理气相层积膜的表面的时间为30分钟。
10.如权利要求1所述的杆头表面处理方法，其特征在于，该物理气相层积膜的厚度为0.5～1.5μm，该渗透层的厚度为0.1～0.5μm。
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