[发明专利]一种用于微流控的声学镊子

权利要求书

1.一种用于微流控的声学镊子，包括支架，其特征在于，所述支架上安装有微流控通道层以及设置于微流控通道层下方的压电基底；所述微流控通道层具有中空的通道，所述中空的通道包括主通道、设置于主通道一侧的至少两个流体入口通道、设置于主通道另一侧的至少两个流出口通道；所述主通道的两侧设置一对相互平行且相对放置的声表面波换能器组，所述流体入口通道一侧放置有加速换能器，所述压电基底的背面设置有叠层体声波压电换能器；

所述声表面波换能器组中的每个声表面波换能器包括两个叉指指条组、两根金属条，所述叉指指条组与金属条之间设置有开关管，所述开关管连接有电控模块；其中叉指指条的形状为等腰梯形；

所述开关管连接有编码模块，所述编码模块用于控制开关管的通断。

2.根据权利要求1所述的一种用于微流控的声学镊子，其特征在于，所述声表面波换能器组中的两个声表面波换能器均与主通道呈预设夹角α。

3.根据权利要求2所述的一种用于微流控的声学镊子，其特征在于，所述预设夹角为0°～+15°或者-15°～0°。

4.根据权利要求1所述的一种用于微流控的声学镊子，其特征在于，所述压电基底由铌酸锂晶体组成，得到铌酸锂衬底。

5.根据权利要求4所述的一种用于微流控的声学镊子，其特征在于，所述微流控通道层在PDMS结构上形成，所述PDMS结构与铌酸锂衬底键合。

6.根据权利要求1所述的一种用于微流控的声学镊子，其特征在于，所述叠层体声波压电换能器电压、电极和压电变压器材料组成。

7.根据权利要求1所述的一种用于微流控的声学镊子，其特征在于，还包括隔膜，所述隔膜设置在压电基底上并覆盖声表面波换能器组。

8.根据权利要求7所述的一种用于微流控的声学镊子，其特征在于，所述隔膜为厚度190-200nm的SiO₂薄膜；声表面波换能器的高度为90-100nm。