[发明专利]扁平引脚芯片的测试装置

说明书

本发明涉及半导体领域，公开了一种扁平引脚芯片的测试装置，包括绝缘的测试插座、导电的接触件以及枢轴结构，测试插座内具有空腔、分别与空腔连通的第一开口和第二开口，接触件设置为能够保持在空腔内并具有从第一开口伸出的第一部分和从第二开口伸出的第二部分，第一部分形成为尖端，枢轴结构与接触件弹性地接触，从而接触件能够在扁平引脚芯片施加在第一部分上的作用力的作用下围绕枢轴结构转动，并且同时枢轴结构能够对接触件施加作用力，以使第二部分与测试板紧密接触并能够促动接触件复位转动。通过与扁平引脚芯片形成线‑面接触，能够保持稳定的接触并降低接触电阻，通过接触件的转动方便地实现接触件与扁平引脚芯片和测试板精确接触。

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体地涉及一种扁平引脚芯片的测试装置。

背景技术

在半导体制造行业中，有一种芯片叫做扁平引脚芯片(QFN)，它应用于很多量产封装集成电路中。而通常所有的芯片都需要用进行模拟终端用户程序的测试。测试芯片的一种方式是将芯片放在一个测试套内进行各种功能性测试，这个测试套包含了印刷电路板(也被称为测试板)以及测试装置。测试装置包括高强度复合绝缘材料制成的测试插座主体以及高导电金属材料制作的弹簧探针。使用时，弹簧探针的一端连接测试板，另一端连接被测芯片的引脚。当被测芯片放置于测试插座内受到按压后，弹簧探针的一端与被测芯片的引脚接触并带动下移，使弹簧探针内部呈开路状态，此时被测芯片和测试板形成闭合回路，从而进行测试。

测试装置用来重复使用测试大量的芯片，每一个芯片放置到测试插座的测试成为一个“循环周期”，测试装置必须承受一定的“循环周期”测试而不降低性能。但是实际上，由于弹簧探针的两端均形成了点接触，接触面积小导致连接性能不可靠，并且点接触使得接触电阻相对较大，测试准确性受到影响。此外，在大量的循环测试后，触点的电气和机械性能会开始退化，例如弹簧探针金属氧化，磨损，弹簧力退化等等。这样的下降逐渐积累形成质变，最终将影响测试本身的完整性，从而导致测试装置到达使用寿命。另外，由于弹簧探针的点接触，需要将芯片、测试插座、弹簧探针、测试板彼此精准定位，对测试装置的加工精度要求较高。

因此，现有的测试装置存在测试不可靠、使用寿命短且加工精度要求较高的缺点。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术存在的测试不可靠、使用寿命短且加工精度要求较高的问题，提供一种扁平引脚芯片的测试装置，该测试装置的测试可靠、易于制造且具有延长的使用寿命。

为了实现上述目的，本发明一方面提供一种扁平引脚芯片的测试装置，其中，所述测试装置包括绝缘的测试插座、导电的接触件以及枢轴结构，所述测试插座内具有空腔，所述测试插座的上表面和下表面上设置有分别与所述空腔连通的第一开口和第二开口，所述接触件设置为能够保持在所述空腔内并具有从所述第一开口伸出以与扁平引脚芯片形成接触的第一部分和从所述第二开口伸出以与测试板形成接触的第二部分，所述第一部分形成为具有与所述扁平引脚芯片形成线-面接触的宽度的尖端，所述枢轴结构设置在所述空腔内并与所述接触件弹性地接触，从而所述接触件能够在所述扁平引脚芯片施加在所述尖端上的作用力的作用下围绕所述枢轴结构转动，使得所述尖端刮擦所述扁平引脚芯片，并且同时所述枢轴结构能够对所述接触件施加作用力，以使所述第二部分与所述测试板紧密接触并能够在撤去所述第一部分上的作用力时促动所述接触件复位转动。

可选地，所述接触件具有定位在所述空腔内的自由状态、仅通过所述第二部分与所述测试板接触而可转动的预加载状态以及分别通过所述第一部分和所述第二部分与所述扁平引脚芯片和所述测试板稳定接触的加载状态。

可选地，所述接触件包括基部和分别从所述基部的两端向上倾斜延伸的第一分支和第二分支，所述基部的底面形成所述第二部分，所述第一分支的末端形成所述第一部分，所述空腔具有在所述自由状态与所述第一分支和第二分支的底部接触以保持所述接触件的支撑壁以及引导所述第二分支的末端从所述自由状态向上移动到所述预加载状态的引导壁。

可选地，所述第一分支的末端具有圆角部分。