[发明专利]一种真空感应化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：包括炉体、真空系统和充气系统，所述炉体内设置有加热室，所述加热室外侧设置有感应加热装置，所述加热室内设置有沉积室，所述沉积室与所述充气系统连通，所述加热室与所述炉体之间为真空室，所述加热室和所述真空室分别通过管路与所述真空系统连通；

所述加热室包括发热体，所述发热体包括发热筒、设置在所述发热筒上端的发热盖和发热管，所述发热盖通过所述发热管与所述真空系统连通，所述发热管位于所述真空室中，所述发热筒的下端设置有料盘结构；

所述发热筒、所述发热盖和所述料盘结构的外侧均设置有保温结构，所述保温结构的外侧设置有所述感应加热装置；

所述发热体内设置有料筒，所述料筒的上端设置有盖板，所述盖板与所述料筒之间设置有间隙，所述料盘结构设置在所述料筒的下端，所述料筒、所述盖板和所述料盘结构形成所述沉积室。

2.根据权利要求1所述的真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：所述发热盖呈锥形。

3.根据权利要求2所述的真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：所述发热筒和所述发热盖外侧的所述保温结构为保温碳毡，所述料盘结构外侧的所述保温结构为保温碳毡和高铝砖；所述感应加热装置为感应线圈。

4.根据权利要求2或3所述的真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：所述料盘结构包括自上而下依次设置的载料盘和若干垫板，所述载料盘用于承载炉料，所述载料盘与所述垫板之间、相邻的所述垫板之间均设置有间隙，所述载料盘上设置有若干通孔，各所述垫板上开设有若干进气孔，相邻的所述垫板上的所述进气孔错位设置，所述通孔、所述进气孔、所述载料盘与所述垫板之间的间隙及相邻的所述垫板之间的间隙形成进气通道，所述充气系统与最下端的所述垫板上的所述进气孔连通。

5.根据权利要求2所述的真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：所述真空感应化学气相沉积炉还包括进出料机构，所述料盘结构设置在所述进出料机构上，所述进出料机构包括底盘车，所述底盘车通过导向块与竖向设置的丝杠连接，所述丝杠与电机传动连接，所述导向块与所述底盘车沿水平方向滑动连接，所述底盘车的底部设置有滚轮，所述滚轮与底架底部的导轨相匹配。

6.根据权利要求5所述的真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：所述底盘车上穿设有进气导管，所述进气导管的一端与所述沉积室连通，所述进气导管的另一端与所述充气系统连通，所述进气导管内设置有直通管，所述直通管的一端伸入所述沉积室中，所述直通管的另一端与所述充气系统连通。

7.根据权利要求1所述的真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：所述充气系统包括混气罐，所述混气罐内设置有混气装置，所述混气罐上连接有若干进气管路和压力表，所述压力表用于测量所述混气罐内的压力，各所述进气管路上均设置有质量流量计和进气阀门，所述混气罐通过出气管路与所述沉积室连通，所述出气管路上设置有加热装置和第一阀门；

所述出气管路上并联有旁路，所述旁路的两端与所述第一阀门两端的所述出气管路连通，所述旁路上设置有第二阀门。

8.根据权利要求1所述的真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：所述真空系统包括真空泵、第一管路和第二管路，所述第一管路和所述第二管路上均设置有真空阀门，所述真空泵通过所述第一管路与所述真空室连通，所述真空泵通过所述第二管路与所述沉积室连通，所述第二管路上还设置有过滤器，所述过滤器位于所述真空阀门与所述沉积室之间，所述过滤器包括双层异目数的过滤网。

9.根据权利要求1所述的真空感应化学气相沉积炉，其特征在于：所述真空感应化学气相沉积炉还包括冷却系统，所述冷却系统分别与所述炉体的第一冷却结构、所述感应加热装置的第二冷却结构和所述真空系统的第三冷却结构连通。