[发明专利]具有多面加热器配置的相变开关在审
申请号: | 202110372622.7 | 申请日: | 2021-04-07 |
公开(公告)号: | CN113517394A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | D·海斯;M·巴特尔斯;C·格拉策;C·卡陶;M·马科特;H·塔迪肯;H-D·霍尔穆斯 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 黄倩 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 多面 加热器 配置 相变 开关 | ||
1.一种开关器件,包括:
衬底,包括主表面;
第一RF端子和第二RF端子,被设置在所述主表面之上并且彼此侧向地间隔开;
一个或多个相变材料带,被连接在所述第一RF端子和所述第二RF端子之间;
绝热材料区域,将所述一个或多个相变材料带与所述主表面分开;以及
加热器结构,包括一个或多个加热元件,所述一个或多个加热元件被配置成通过向所述一个或多个相变材料带施加热量来控制所述第一RF端子和所述第二RF端子之间的导电连接,
其中所述一个或多个相变材料带中的每个相变材料带包括第一外面和与所述第一外面相对的第二外面,并且
其中对于所述一个或多个相变材料带中的至少一个相变材料带,所述第一外面和所述第二外面两者的至少部分被设置成抵靠所述加热元件中的一个加热元件。
2.根据权利要求1所述的开关器件,其中所述开关器件包括多个所述相变材料带,并且其中所述一个或多个加热元件的部段被交替布置在所述相变材料带中的各个相变材料带之间。
3.根据权利要求2所述的开关器件,其中所述相变材料带中的每个相变材料带在侧向方向上彼此侧向地间隔开,所述侧向方向平行于所述主表面并且横向于所述相变材料带中的电流流动方向。
4.根据权利要求3所述的开关器件,其中所述相变材料带中的每个相变材料带的所述第一外面和所述第二外面被定向成基本垂直于所述主表面,其中所述相变材料带中的每个相变材料带包括顶部外面,所述顶部外面基本平行于所述主表面并且在相应的带的所述第一外面和所述第二外面之间延伸,并且其中所述加热元件中的第一加热元件围绕所述相变材料带中的每个相变材料带的所述第一外面、所述顶部外面和所述第二外面。
5.根据权利要求4所述的开关器件,还包括第一加热端子和第二加热端子,其中所述第一加热元件被连接在所述第一加热端子和所述第二加热端子之间,其中所述第一加热端子和所述第二加热端子被配置成通过迫使电流流过所述第一加热元件来施加所述热量,并且其中所述加热器结构被配置成迫使所述电流在横向于所述相变材料的所述电流流动方向的方向上流过所述第一加热元件。
6.根据权利要求4所述的开关器件,其中所述相变材料带中的每个相变材料带在垂直于所述主表面的垂直方向上伸长。
7.根据权利要求3所述的开关器件,其中所述开关器件包括:
加热元件材料区域,被设置在所述绝热材料区域上,所述加热元件材料区域包括基本平行于所述主表面的上表面;以及
多个沟槽,被形成在所述加热元件材料区域的所述上表面中,
其中所述相变材料带被设置在所述沟槽内,
其中所述加热器结构包括多个所述加热元件,并且
其中所述加热元件中的每个加热元件由被设置在所述沟槽中的两个沟槽之间的所述加热元件材料的部段形成。
8.根据权利要求7所述的开关器件,其中所述加热器结构被配置成:迫使电流在与所述相变材料的所述电流流动方向平行的方向上流过所述加热元件中的每个加热元件。
9.根据权利要求7所述的开关器件,其中所述加热器结构被配置成:迫使电流在横向于所述相变材料的所述电流流动方向的方向上流过所述加热元件中的每个加热元件。
10.根据权利要求2所述的开关器件,其中所述相变材料带中的每个相变材料带在垂直于所述主表面的垂直方向上彼此间隔开,并且其中所述加热器结构包括多个所述加热元件,多个所述加热元件在所述垂直方向上被交替布置在所述相变材料带之间。
11.根据权利要求10所述的开关器件,其中所述相变材料带中的每个相变材料带在所述第一RF端子和所述第二RF端子之间以串联方式被彼此电连接。
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