[发明专利]一种标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法

权利要求书

1.一种标定块，其特征在于，包括：

沿第一方向排布的N个台阶部，沿第二方向，N个台阶部的高度各不相同，其中，所述第一方向垂直于所述第二方向，N≥2且N为整数；

所述台阶部包括垂直于所述第二方向的顶面，所述顶面设置有分辨率测试图案。

2.根据权利要求1所述的标定块，其特征在于，所述台阶部的所述顶面设置有至少两个所述分辨率测试图案，至少两个所述分辨率测试图案的尺寸相同或不同。

3.根据权利要求1所述的标定块，其特征在于，所述分辨率测试图案包括USAF1951分辨率测试图案。

4.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括权利要求1-3任一项所述的标定块；

所述缺陷检测装置还包括载物台、图像采集模块和计算机控制模块；

所述载物台用于承载待测物；所述图像采集模块用于采集所述待测物的图像；所述计算机控制模块与所述图像采集模块电连接，用于根据所述待测物的图像对所述待测物进行缺陷检测；

所述标定块固定于所述载物台上，所述图像采集模块还用于采集所述标定块的图像，所述计算机控制模块还用于根据所述标定块的图像获取所述图像采集模块的焦深和最佳焦面。

5.根据权利要求4所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述缺陷检测装置还包括运动控制模块，所述运动控制模块与所述载物台连接，和/或，所述运动控制模块与所述图像采集模块连接；

所述运动控制模块用于驱动所述载物台和/或所述图像采集模块运动。

6.一种缺陷检测方法，应用于权利要求4或权利要求5所述的缺陷检测装置，其特征在于，包括：

获取标定块的图像，所述标定块的图像包括N个第一子图像，N个所述第一子图像与N个台阶部对应，所述第一子图像为对应的台阶部的顶面上分辨率测试图案的图像，其中，N≥2且N为整数；

根据所述标定块的图像获取图像采集模块的焦深和最佳焦面；

根据所述焦深和所述最佳焦面获取待测物的图像。

7.根据权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，根据所述标定块的图像获取图像采集模块的焦深和最佳焦面，包括：

计算所述第一子图像的对比度；

根据所述第一子图像的对比度计算所述图像采集模块的焦深；

根据所述焦深计算所述图像采集模块的最佳焦面。

8.根据权利要求7所述的缺陷检测方法，其特征在于，计算所述第一子图像的对比度，包括：

根据计算所述第一子图像的对比度，其中，C_Hi为第i个所述第一子图像的对比度，为第i个所述第一子图像的亮度最大值，为第i个所述第一子图像的亮度最小值，1≤i≤N。

9.根据权利要求8所述的缺陷检测方法，其特征在于，根据所述第一子图像的对比度计算所述图像采集模块的焦深，包括：

根据计算所述图像采集模块的焦深，其中，DOF为所述图像采集模块的焦深，为对比度C≥A时的最高标定面位置，为对比度C≥A时的最低标定面位置，A为预设对比度阈值。

10.根据权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括运动控制模块，所述运动控制模块与所述载物台连接，和/或，所述运动控制模块与所述图像采集模块连接；所述运动控制模块用于驱动所述载物台和/或所述图像采集模块运动；

根据所述焦深和所述最佳焦面获取待测物的图像，包括：

所述运动控制模块驱动所述载物台和/或所述图像采集模块运动，以使待测物的待测表面位于所述图像采集模块的最佳焦面处；

获取所述待测物的图像；

根据所述待测物的图像进行缺陷检测。