[发明专利]侧部加热器电缆排布和电磁搅拌器在审
申请号: | 202110374753.9 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN115198344A | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 路景刚 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B30/04;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 电缆 排布 电磁 搅拌器 | ||
1.一种晶体生长炉用的电磁搅拌装置,包括位于炉腔内的侧部加热器和位于炉腔外的导体电路两个部分,其特征是:
a、侧部加热器是由多段不同形状的加热段,使用螺栓依次首尾连接而成的围绕坩埚一周的闭环;在所述侧加环路上,大致均匀布置n个电极接入点,将侧加热器环路大致均分为n段,n=3或4;n个石墨电极,在侧加热器环路上方,首先穿过顶部或侧部保温板,再分别通过一个向下延伸的吊臂,在所述电极接入点处,连接加热器环路;在所述n个石墨电极上,施加n相交变电压,其频率范围是1到500Hz,相邻两相间电压的范围是12V到72V;
b、从炉腔竖直中心线向外投影,所述侧加热器环路上的n个电极接入点将炉腔外壁大致均分为n个扇形区域,在每一个扇形区域内,分别布置一个炉腔外导体电路,其包括两个部分:其一是跨越所述扇形区,位于侧加热器环路下边缘高度和顶保温板上表面高度之间的横向延伸段;其二是分别位于所述横向延伸段两端,在侧加热器吊臂临近位置的两个向下延伸段;所述横向延伸段和两个向下延伸段靠近炉腔外壁布置;
c、所述n个炉腔外导体电路,分别做为侧加热器外部连接电缆的一段,串联接入侧加热器电路;其一侧向下延伸段的下端,连接至侧加热器电源的一个引出端子,其另一侧向下延伸段的下端,连接至一个侧加热器石墨电极。
2.如权利要求1所述电磁搅拌装置,其特征在于,所述的总计n个扇形区中的任意m个扇形区内,m不大于n,炉腔外导体电路可以为双匝结构,包括两根平行紧邻布置的横向延伸段A和B,A横向延伸段两端分别连接向下延伸段A1和A2,B横向延伸段两端分别连接向下延伸段B1和B2,A1和B1两个向下延伸段相互临近,位于所在扇形区的同一侧;连接向下延伸段A1的下端和向下延伸段B2的下端,形成闭合双匝回路;余下两个向下延伸段A2和B1的下端,一个连接到侧加热器电源的一个引出端子,另一个连接至侧加热器的一个石墨电极。
3.如权利要求1-2所述电磁搅拌装置,其特征在于,所述侧部加热器交变电源为工频。
4.如权利要求1-3所述电磁搅拌装置,其特征在于,所述炉腔外导体电路的横向延伸段,位于侧加热器环路中心高度和顶加热器高度之间。
5.如权利要求1-4所述电磁搅拌装置,其特征在于,所述炉腔外导体电路的横向延伸段由多个水平段和倾斜段组合而成。
6.如权利要求1-5所述电磁搅拌装置,其特征在于,所述炉腔外导体电路的向下延伸段,其长度不小于0.3米,其与竖直方向之间的偏差角不大于60度。
7.如权利要求1-6所述电磁搅拌装置,其特征在于,所述炉腔外导体电路的任一个向下延伸段,与临近侧加热器吊臂在炉腔外壁上的投影位置之间,在水平方向上的偏差距离不大于0.6米。
8.如权利要求1-6所述电磁搅拌装置,其特征在于,所述炉腔外导体电路的任一个向下延伸段,与临近侧加热器吊臂在炉腔外壁上的投影位置之间,在水平方向上的偏差距离不大于0.3米。
9.如权利要求1-8所述电磁搅拌装置,其特征在于,沿炉体中心竖直轴线顺时针旋转方向规定为电流正方向,所述n段侧加热器环路中的任意一段中的电流位相,与临近的位于同一扇区内的炉腔外导体电路的横向延伸段中的电流位相大致相同,两电流之间相角差的绝对值不大于60度。
10.一种晶体硅铸锭炉,包括炉体,该炉体内设置有保温层笼体,该保温层笼体内设置有定向凝固热交换块,该热交换块上方设置有坩埚,其特征在于,所述炉体内还设置有如权利要求1-9任一项所述的电磁搅拌装置。
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