[发明专利]一种用于薄壁微小孔的微应力磨料流体研抛方法

权利要求书

1.一种用于薄壁微小孔的微应力磨料流体研抛方法，在超精密机床上实施，其特征为将带有表面纹理研磨头的研磨棒装夹到超精密机床上，偏置放入被加工的薄壁微小孔腔内，进行研抛加工；在启动研磨棒转动的同时保持偏置量S情况下，绕薄壁微小孔的中心公转；并在研磨棒对薄壁微小孔内腔进行研抛加工的部位，加入含有磨料粒子的液体磨料实施加工。

2.根据权利要求1所述的一种用于薄壁微小孔的微应力磨料流体研抛方法，其特征为所述的研磨棒由研磨棒柄和研磨头构成，研磨头的表面纹理为单面齿，其深度为h＝0.1d，单面齿形铲背角度为α，齿顶圆的齿槽宽对应圆心角β＝α，单向齿齿数Z＝5/6×360/α＝300/α。

3.根据权利要求1所述的一种用于薄壁微小孔的微应力磨料流体研抛方法，其特征为所述的薄壁微小孔内径D≤3mm；研磨棒上研磨头的直径为d，0.5D≤d≤0.8D；研磨头的外径与被加工的孔壁间最小距离为△，3da≤△≤4da，da为磨料粒子平均粒径；偏置量S＝0.5(D-d)-△；研磨棒自转转速n，10000r/min≤n≤30000r/min；保持偏置量S，公转转速N,1r/min≤N≤3r/min，对薄壁微小孔进行光整加工。