[发明专利]面曝光光斑光强匀化方法及其应用有效
申请号: | 202110377589.7 | 申请日: | 2021-04-08 |
公开(公告)号: | CN113096040B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 王晨光;沈显峰;王国伟;秦煜;杨家林;张文康;王开甲;朱京玺;黄姝珂 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | G06T5/00 | 分类号: | G06T5/00;G06V10/28;G02B27/09 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 唐邦英 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 光斑 光强匀化 方法 及其 应用 | ||
1.面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、对stl模型进行切片处理获得切片图像,并对切片图像进行灰度处理,生成二值灰度图像;
S2、生成高斯补偿图像,获得参数可调的高斯晕影,所述参数包括高斯峰值和高斯半径,所述高斯晕影的峰值为低灰度值,补偿中心区域的灰度值最低,且灰度值由补偿中心区域沿高斯半径向外呈逐渐升高的趋势,步骤S1获得的二值灰度图像与步骤S2获得高斯补偿图像具有相同尺寸;
S3、将步骤S1获得的二值灰度图像与步骤S2获得的高斯晕影进行矩阵点乘运算,运算后的叠加图像将表现为选区发生灰度过度,过度区域由强曝光中心向外扩散递减,生成含高斯补偿的切片图案;
S4、将含高斯补偿的切片图案加载至液晶空间光调制器驱动设备,开启激光生成并检测面状光斑:
如果光斑不符合要求,则修改高斯晕影的参数,重复步骤S2-S4,直至光斑符合要求。
2.根据权利要求1所述的面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,所述二值灰度图像或高斯补偿图像的尺寸包括200px×200px。
3.根据权利要求1所述的面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,步骤S4中,光斑是否符合要求的评价标准包括光强差异大小和光强不均匀范围;其中,光强差异大小通过高斯峰值进行调节,光强不均匀范围通过高斯半径进行调节。
4.根据权利要求1所述的面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,步骤S4中,光斑的检测采用CCD进行检测。
5.根据权利要求1-4任一项所述的面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,所述切片图像的格式包括png、jpg、bmp和tiff。
6.如权利要求1-5任一项所述的面曝光光斑光强匀化方法的应用,其特征在于,用于金属面曝光增材制造过程中调制光斑光强不均匀。
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