[发明专利]面曝光光斑光强匀化方法及其应用有效

专利信息
申请号: 202110377589.7 申请日: 2021-04-08
公开(公告)号: CN113096040B 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 王晨光;沈显峰;王国伟;秦煜;杨家林;张文康;王开甲;朱京玺;黄姝珂 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
主分类号: G06T5/00 分类号: G06T5/00;G06V10/28;G02B27/09
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 唐邦英
地址: 621000*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 曝光 光斑 光强匀化 方法 及其 应用
【权利要求书】:

1.面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、对stl模型进行切片处理获得切片图像,并对切片图像进行灰度处理,生成二值灰度图像;

S2、生成高斯补偿图像,获得参数可调的高斯晕影,所述参数包括高斯峰值和高斯半径,所述高斯晕影的峰值为低灰度值,补偿中心区域的灰度值最低,且灰度值由补偿中心区域沿高斯半径向外呈逐渐升高的趋势,步骤S1获得的二值灰度图像与步骤S2获得高斯补偿图像具有相同尺寸;

S3、将步骤S1获得的二值灰度图像与步骤S2获得的高斯晕影进行矩阵点乘运算,运算后的叠加图像将表现为选区发生灰度过度,过度区域由强曝光中心向外扩散递减,生成含高斯补偿的切片图案;

S4、将含高斯补偿的切片图案加载至液晶空间光调制器驱动设备,开启激光生成并检测面状光斑:

如果光斑不符合要求,则修改高斯晕影的参数,重复步骤S2-S4,直至光斑符合要求。

2.根据权利要求1所述的面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,所述二值灰度图像或高斯补偿图像的尺寸包括200px×200px。

3.根据权利要求1所述的面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,步骤S4中,光斑是否符合要求的评价标准包括光强差异大小和光强不均匀范围;其中,光强差异大小通过高斯峰值进行调节,光强不均匀范围通过高斯半径进行调节。

4.根据权利要求1所述的面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,步骤S4中,光斑的检测采用CCD进行检测。

5.根据权利要求1-4任一项所述的面曝光光斑光强匀化方法,其特征在于,所述切片图像的格式包括png、jpg、bmp和tiff。

6.如权利要求1-5任一项所述的面曝光光斑光强匀化方法的应用,其特征在于,用于金属面曝光增材制造过程中调制光斑光强不均匀。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,未经中国工程物理研究院机械制造工艺研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110377589.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top