[发明专利]一种碱性铜蚀刻液及其生产工艺

权利要求书

1.一种碱性铜蚀刻液的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，称取水、碳酸氢铵以及氯化铵并进行初步混合，得到混合物；

步骤2，将液氨加入所述混合物中，边搅拌边加液氨，得到半成品；

步骤3，对所述半成品进行碱度以及氯离子含量检测；

步骤4，如果检测结果合格，则直接进行包装得到所述碱性铜蚀刻液；如果检测结果不合格，则根据检测结果进行调试后，再次进行步骤3，直至检测结果合格为止，得到所述碱性铜蚀刻液；

其中，检测结果不合格的情况包括碱度过低情况、氯离子含量过低情况、以及碱度过高或氯离子含量过高情况；

所述氯离子含量过低情况为所述半成品的氯离子含量低于要求时，添加氯化钾或者氯化钠或两者的组合物对检测不及格的所述半成品进行氯离子含量调节。

2.根据权利要求1所述的一种碱性铜蚀刻液的生产工艺，其特征在于：所述碱度过低情况为所述半成品的碱度低于要求时，添加液氨对检测不及格的所述半成品进行碱度调节。

3.根据权利要求1所述的一种碱性铜蚀刻液的生产工艺，其特征在于：所述碱度过高或氯离子含量过高情况为所述半成品的氯离子含量或者碱度高于要求时，添加水对检测不及格的所述半成品的氯离子含量或碱度进行调节。

4.根据权利要求1所述的一种碱性铜蚀刻液的生产工艺，其特征在于：所述步骤2中，搅拌速度为10-30r/min，搅拌时间为30-90min。

5.根据权利要求4所述的一种碱性铜蚀刻液的生产工艺，其特征在于：所述步骤2中，搅拌速度为15-25r/min，搅拌时间为40-60min。

6.一种碱性铜蚀刻液，其特征在于，通过权利要求1-5任一权项所述的生产工艺制得，是含有氯化铵、碳酸氢氨以及氨的水溶液，其中，氯化铵的质量浓度为240-340g/L，碳酸氢铵的质量浓度为10-50g/L，氨的质量浓度为50-120g/L。

7.根据权利要求6所述的一种碱性铜蚀刻液，其特征在于：所述碱性铜蚀刻液中氯化铵的质量浓度为260-320g/L，碳酸氢铵的质量浓度为20-40g/L，氨的质量浓度为60-110g/L。