[发明专利]一种真空探针台

说明书

本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座和显微镜安装调节架，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；本发明提供的一种真空探针台，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种真空探针台。

背景技术

为了检测不同温度环境下的半导体器件的性能，会用到高低温真空探针台对半导体器件进行检测，通过将半导体器件放置在能够控制温度的真空腔内进行测试，但是，目前传统的高低温真空探针台存在的问题是，单层腔体结构设计，温度扩散快，保温效果不好，真空腔体的升温时间需要在1小时左右，升温过程慢，检测之前的升温等待时间较长，因此升温过程慢，直接影响到半导体器件的测试工作效率；此外，针对不同的检测环境，现有设计中没有配合实现对有毒气体进行检测的有毒气体检测装置。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空探针台，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座、显微镜安装调节架以及分别用于进行电学检测和光学检测的电学检测机构和光学检测机构，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；

所述真空腔体连接有与外部连通的抽真空管道，所述真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，所述外腔体和内腔体之间为保温腔，所述外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，所述内腔体内设有载物台，所述载物台的高度与探测孔的高度相适应，所述载物台上设有加热模块和温度传感器，所述载物台内设有冷源循环通道，所述冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部；

所述探针座上设有安装座，所述安装座上设有移动杆，所述移动杆上设有探针夹具，所述探针夹具上设有探针，所述探针座上设有波纹管，所述波纹管的端部与外探测孔处设置的延伸管密封连接，所述移动杆沿着波纹管的长度方向延伸穿过探测孔后位于载物台的上方。

本技术方案中，由于设备的振动会对电学测量造成影响，因此采用底板设置在安装台上，安装台具有一定的结构稳定性，安装台和底板形成双层底部结构，结构和设计合理，测试过程中的稳定性更强。

本技术方案中，由于真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，内腔体与外腔体之间具有一定的间隔，形成了保温腔，同时内腔体的设置，也缩小了加热面积，加热更为均匀、高效；外腔体和内腔体分别对应设有外探测孔和内探测孔，能够方便用于调整探针位置的移动杆伸入到内腔体内；内腔体内设有载物台，载物台上用于放置测试样品，载物台的高度与探测孔的高度相适应，方便通过探针进行检测，载物台上的加热模块实现对载物台的温度调节，温度传感器能够检测温度，并将检测结果反馈给控制主机，冷源循环通道用于实现冷源的通过，从而实现对载物台的降温，可以采用向冷源循环通道内通入液氮的方式实现快速降温。

此外，由于安装台上设有有毒气体检测装置，针对不同的检测环境能够实现对有毒气体的检测，以便适应不同的应用环境。

探针座与真空腔体之间通过波纹管密封连接，通过探针座对探针进行位移微调时，不会影响真空腔体内的环境状态。