[发明专利]一种高频电刀防粘涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种高频电刀防粘涂层的制备方法，包括以下步骤：

以高频电刀作为衬底，衬底先后经过打磨、抛光、脱脂、清洗和烘干处理；

通过激光打标技术在衬底表面制备网格状结构，所述网格状结构的每个网格都是正方形结构，相邻网格之间的沟槽宽度为100μm，每个网格的边长为300μm；

将带有网格状结构的衬底放入磁控溅射镀膜机中，以高纯钛为靶材，以氩气和氮气的混合气体作为工作气体，在衬底表面制备TiN涂层，其中，溅射压力10Pa，溅射温度120℃，氩气流量60sccm，氮气流量20sccm；

将TiN涂层放入真空退火炉中进行退火以消除涂层内应力，退火温度320℃，退火时间2h。

2.一种如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述衬底为304不锈钢。

3.一种如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述脱脂选用15%的碳酸钠溶液。

4.一种如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述清洗为无水乙醇超声清洗。

5.一种高频电刀防粘涂层，其特征在于，所述防粘涂层由权利要求1-4中任一项方法制备而得。