[发明专利]放射线敏感性组合物的处理方法

说明书

本发明提供一种即使使用LED光源，也能够对放射线敏感性组合物赋予高的透射性、抑制气泡的产生的放射线敏感性组合物的处理方法。本发明的放射线敏感性组合物的处理方法的特征在于，放射线敏感性组合物具有：作为具有酸基的自由基聚合性化合物(a)、具有环氧基的自由基聚合性化合物(b)、以及其他自由基聚合性化合物(c)的共聚物的可溶于碱水溶液的树脂(A)和放射线敏感性产酸化合物(B)，其中，所述方法包含下述工序(α)：从LED元件对放射线敏感性组合物照射主峰值波长在375nm以上且395nm以下的范围内的紫外线，提高放射线敏感性组合物的透射率。

技术领域

本发明涉及放射线敏感性组合物的处理方法，更详细而言，涉及提高放射线敏感性组合物的透射率的漂白处理方法。

背景技术

在液晶面板、有机EL面板等显示装置中，与各像素对应地设置有微细的半导体元件，作为该元件内的绝缘材料(抗蚀剂材料)而广泛使用显示对光进行感应的性质(放射线敏感性)的组合物。

例如，已知在显示装置的制造过程中，通过涂布放射线敏感性组合物并进行预烘烤后、对曝光及显影后的图案照射紫外线来提高该图案的透光性、耐久性(耐热性)。有时将这样地通过对图案形成后的对象膜照射紫外线来提高对可见光的透射性的处理称为“漂白处理”。该处理是通过用紫外线将放射线敏感性组合物中所含的感光材料分解而引起的。

例如在下述专利文献1中记载了对抗蚀剂图案照射i射线、即波长为365nm的紫外线来进行漂白处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-037169号公报

发明内容

发明所要解决的课题

漂白处理用的光源一般使用高压汞灯等灯。在上述专利文献1中也有“i射线”这样的记载，因此估计为汞光谱，虽然没有文字上的记载，但可以理解预定使用的是高压汞灯。

对此，随着近年来的固体光源的技术进步，正在进行使用UV-LED的漂白处理的研究。

然而，通过本发明人等的深入研究可知，在漂白处理中使用LED光源的情况下，容易产生无法得到所期望的透射率(漂白能力)的问题、在放射线敏感性组合物的内部产生发泡的问题。

本发明鉴于上述课题，其目的在于提供一种即使使用LED光源，也能够对放射线敏感性组合物赋予高的透射性、进而抑制气泡的产生的放射线敏感性组合物的处理方法。

用于解决课题的手段

本发明涉及一种放射线敏感性组合物的处理方法，其特征在于，所述放射线敏感性组合物具有：

作为具有酸基的自由基聚合性化合物(a)、具有环氧基的自由基聚合性化合物(b)、以及其他自由基聚合性化合物(c)的共聚物的可溶于碱水溶液的树脂(A)，和

放射线敏感性产酸化合物(B)；

其中，所述方法包含下述工序(α)：

从LED元件对所述放射线敏感性组合物照射主峰值波长在375nm以上且395nm以下的范围内的紫外线，提高所述放射线敏感性组合物的透射率。

在对包含放射线敏感性组合物而成的膜进行漂白处理的情况下，如在“发明所要解决的课题”项中所说明的那样，以往通常利用汞灯。这是因为根据经验可知，放射线敏感性产酸化合物对从汞灯射出的光的峰值波长中的1种即365nm(i射线)显示高的感光性。

本发明人等基于上述见解，首先准备显示主峰值波长在365nm附近的LED元件，对包含放射线敏感性组合物而成的处理对象膜(以下，有时适当地称为“对象膜”)照射从该LED元件射出的紫外线而进行了漂白处理。于是确认了，进行该处理后的对象膜的透射率低于期望值，未实现要满足的透射性能。