[发明专利]集成电路外延层扩展电阻测试仪

权利要求书

1.一种集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，包括底座，所述底座上设置有气浮减震台和控制面板，所述气浮减震台上设置有产品调节台和探针调节台，所述产品调节台上设置有样品测量台，所述探针调节台上设置有探针，所述产品调节台包括第一水平滑台和第二水平滑台上，所述第一水平滑台使得所述样品测量台沿着x方向移动，所述第二水平滑台使得所述样品测量台沿着y方向移动，所述探针调节台包括垂直滑台，所述垂直滑台使得所述两个探针沿着z方向移动；所述探针连接有测量电路，所述测量电路包括电压源和电流表。

2.根据权利要求1所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述样品测量台包括减震台，所述减震台上方设置有数显电子秤，所述数显电子秤上方设置有样品承片盘，所述样品承片盘上开设有若干吸附孔，所述减震台上设置有显微镜。

3.根据权利要求2所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述样品承片盘下方设置有绝缘基板，所述绝缘基板中间设置有真空吸附盘，所述真空吸附盘下方设置有水平调节装置。

4.根据权利要求3所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述样品承片盘的直径大于100mm，厚度为20mm，平整度小于3μm，绝缘电阻率大于1GΩ，所述吸附孔的直径为0.1mm。

5.根据权利要求4所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述样品承片盘上设置有5个圆形刻度槽，各个圆形刻度槽的直径分别为50.8mm、76.2mm、100mm、125mm、150mm，所述绝缘基板的直径为200mm，厚度为20mm。

6.根据权利要求3所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述水平调节装置为三个，沿圆周方向均匀分布，所述水平调节装置包括上部的外螺纹套和下部的内螺纹套。

7.根据权利要求3所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述真空吸附盘连接有吸附系统，吸附系统包括吸附罩和负压控制器，所述吸附罩和负压控制器之间的管路上设置有负压表，所述负压控制器包括常闭型电磁泄压阀和可调式负压泵，所述常闭型电磁泄压阀通过继电器开关系统控制。

8.根据权利要求6所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述探针设置在探针支架上，所述垂直滑台设置在探针和探针支架之间。

9.根据权利要求8所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述第一水平滑台和第二水平滑台的行程大于100mm，误差为±3μm，所述垂直滑台的行程大于10mm，误差为±3μm；

所述探针的针尖采用耐磨导电材料制成，针尖的曲率半径不大于25μm，两探针的针距为40-100μm，两探针之间的直流绝缘电阻以及探针与探针支架之间的直流绝缘电阻大于1GΩ。

10.根据权利要求9所述的集成电路外延层扩展电阻测试仪，其特征在于，所述电流表的测量范围为1nA～20mA，误差为±0.1％，所述电压源的电压范围为1mV～100mV，误差为±0.4％。