[发明专利]ZMO靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种ZMO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将ZnO粉末、MgO粉末、Al₂O₃粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；

将所述浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；

将所述ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；

在保护气体氛围下，将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及

将所述ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材；

其中，所述ZnO粉末、所述MgO粉末、所述Al₂O₃粉末、所述分散剂、所述粘接剂与所述水的质量比为(80～85)：(15～20)：(0.1～1)：(0.5～5)：(0.5～5)：(90～99)；

所述烧结的温度为1000℃～1300℃，保温时间为6h～8h。

2.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述研磨的操作为：进行两次球磨，第一次球磨的转速为200r/min～300r/min，第一次球磨的时间为9h～10h；第二次球磨的转速为150r/min～200r/min，第一次球磨的时间为1h～2h。

3.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述喷雾造粒的温度为200℃～300℃。

4.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述保护气体为惰性气体或者氮气。

5.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上的操作中，采用喷枪将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，所述背靶的旋转速度为40r/min～100r/min，所述喷枪与所述背靶外表面的距离为100mm～150mm，所述喷枪的移动速度为400mm/min～600mm/min。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述分散剂选自聚丙烯酰胺、聚羧酸铵盐、聚乙烯羧酸类和硬脂酸盐类中的至少一种。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述粘接剂选自聚乙烯醇、丙烯酸乳液、羧甲基纤维素和聚丙烯酸酯中的至少一种。

8.一种ZMO靶材，其特征在于，ZMO靶材由权利要求1～7中任一项所述的ZMO靶材的制备方法制备得到。

9.根据权利要求8所述的ZMO靶材，其特征在于，所述ZMO靶材的相对密度≥90％。

10.根据权利要求8所述的ZMO靶材，其特征在于，所述ZMO靶材的电阻率≤5×10^-3Ω·cm。