[发明专利]一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置有效
申请号: | 202110382006.X | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN113203239B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 李双玉 | 申请(专利权)人: | 涌明科技(上海)有限公司 |
主分类号: | F25D17/02 | 分类号: | F25D17/02;F26B25/00;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人: | 陈映辉 |
地址: | 201599 上海市金山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 角度 调节 功能 烘烤 冷却 装置 | ||
1.一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,包括底座(8),其特征在于,所述底座(8)的顶部焊接安装有水冷仓(12),水冷仓(12)的一侧壁位于水冷仓(12)的顶部焊接安装有注水管(15),水冷仓(12)的另一侧壁位于水冷仓(12)底部焊接安装有泄水管(13),水冷仓(12)内置放置架(17),放置架(17)的内侧壁开设有滑槽(21),滑槽(21)的数量为四组且呈环形阵列排列,滑槽(21)内置滑块(19),每组滑槽(21)内的滑块(19)数量为三组且滑块(19)与滑槽(21)滑动连接设置,滑块(19)的间隔处焊接安装有复位弹簧(18),滑块(19)位于滑槽(21)外部一侧壁焊接安装有隔板(23),隔板(23)的对应侧壁均焊接安装有固定夹(20),放置架(17)的顶部边缘处焊接安装有安装件(16),安装件(16)的数量为四组且呈环形阵列排列,安装件(16)上焊接安装有钢索(9),水冷仓(12)的顶部焊接安装有烘干仓(5),烘干仓(5)呈空心圆柱体结构且烘干仓(5)的顶部与底部均呈开放式结构设置,烘干仓(5)与水冷仓(12)连通设置,烘干仓(5)的内侧壁焊接安装有排风板(11),排风板(11)呈圆环状且排风板(11)为内部中空结构,排风板(11)的内环内侧壁开设有排风孔(10),底座(8)的顶部位于水冷仓(12)的一侧焊接安装有风机(7),风机(7)的出风端焊接安装有连接管(6),连接管(6)为三通管,连接管(6)的一组自由端横向贯穿烘干仓(5)并与排风板(11)焊接连接设置,连接管(6)的另一侧壁自由端位于连接管(6)第一组自由端的对应处横向贯穿烘干仓(5)并与排风板(11)焊接连接设置,烘干仓(5)的顶部焊接安装有顶罩(4),顶罩(4)与烘干仓(5)连通设置,顶罩(4)的前侧壁与外部连通设置,顶罩(4)的顶部外侧壁正中处焊接安装有双轴电机(3),顶罩(4)的顶部外侧壁位于双轴电机(3)的两侧焊接安装有固定件(2),固定件(2)的数量为两组且呈平行对应设置,固定件(2)的对应侧壁转动安装有转轴(1),双轴电机(3)的输出端通过联轴器横向贯穿固定件(2)并与转轴(1)焊接连接设置,钢索(9)纵向贯穿顶罩(4)并延伸至顶罩(4)的外部,钢索(9)位于顶罩(4)外部一端与转轴(1)焊接连接设置,钢索(9)与顶罩(4)滑动连接设置。
2.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述水冷仓(12)呈圆柱体结构且水冷仓(12)的顶部呈开放式设置。
3.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述泄水管(13)和注水管(15)上均设置有截止阀。
4.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述放置架(17)呈圆柱状结构且放置架(17)的外壁均采用镂空结构,放置架(17)的前后侧壁均呈开放式结构设置。
5.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述隔板(23)为镂空结构,隔板(23)的对应侧壁形成一个放置仓(22)。
6.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述固定夹(20)呈弧形状且对应的固定夹(20)相匹配贴合设置,固定夹(20)的对应侧壁均设置有氟橡胶垫。
7.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述放置架(17)的顶部与放置架(17)滑动连接设置,且放置架(17)的顶部内侧壁焊接安装有固定弹簧,固定弹簧的自由端与相邻的隔板(23)焊接连接设置。
8.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述烘干仓(5)与水冷仓(12)的前侧壁均镶嵌安装有观察窗(14),观察窗(14)为防爆耐高温透明玻璃。
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