[发明专利]一种获取多维物性的扫描探针显微成像方法及装置

权利要求书

1.一种获取多维物性的扫描探针显微成像方法，其特征在于，包括：

将至少两个子波形按预设拼接顺序合成激励信号，所述两个子波形具有不同特性参数；

通过扫描探针依次将所述激励信号施加至待测目标的多个像素点以获得每个像素点对应的测试结果信号；

根据所述测试结果信号和拼接顺序生成待测目标的测试结果，所述测试结果对应所述不同特性参数。

2.根据权利要求1所述的获取多维物性的扫描探针显微成像方法，其特征在于，所述不同特征参数包括不同频率、不同周期、和不同幅值和不同相位中的一种或多种，所述测试结果信号的种类数量对应不同特征参数的子波形的数量。

3.根据权利要求1所述的获取多维物性的扫描探针显微成像方法，其特征在于，在所述将至少两个子波形按预设拼接顺序合成激励信号之后，还包括：

接收触发信号，通过任意波形发生器将所述激励信号转换为预设采样频率的模拟信号，不同行的模拟信号之间由所述触发信号进行标记；

将所述模拟信号发送至扫描探针。

4.根据权利要求3所述的获取多维物性的扫描探针显微成像方法，其特征在于，所述通过扫描探针依次将所述激励信号施加至待测目标的多个像素点以获得每个像素点对应的测试结果信号，包括：

通过所述扫描探针依次将所述模拟信号施加至待测目标的多个像素点，所述多个像素点呈矩阵排列；

以预设采样频率记录扫描探针显微镜的针尖的时域振动或电流作为测试结果信号。

5.根据权利要求1所述的获取多维物性的扫描探针显微成像方法，其特征在于，所述根据所述测试结果信号和拼接顺序生成待测目标的测试结果，所述测试结果对应所述不同特性参数，包括：

根据所述测试结果信号和拼接顺序生成所述待测目标的多个测试数据；

将多个所述测试数据通过对应物理模型拟合得到所述待测目标中与不同特性参数对应的多个测试结果。

6.根据权利要求5所述的获取多维物性的扫描探针显微成像方法，其特征在于，所述多个测试结果对应所述目标的多种固有属性。

7.一种获取多维物性的扫描探针显微成像装置，其特征在于，包括：

信号生成模块，用于生成至少两个子波形并将其按预设拼接顺序合成激励信号，所述两个子波形具有不同特性参数；

测试模块，用于通过扫描探针依次将所述激励信号施加至待测目标的多个像素点以获得每个像素点对应的测试结果信号；

数据处理模块，用于根据所述测试结果信号和拼接顺序生成待测目标的测试结果，所述测试结果对应所述不同特性参数。

8.根据权利要求7所述的获取多维物性的扫描探针显微成像装置，其特征在于，还包括：触发转换模块和信号发送模块；

所述触发转换模块，用于接收触发信号，并通过任意波形发生器将所述激励信号转换为预设采样频率的模拟信号，不同行的模拟信号之间由所述触发信号进行标记；

所述信号发送模块，将所述模拟信号发送至扫描探针。

9.根据权利要求8所述的获取多维物性的扫描探针显微成像装置，其特征在于，所述测试模块包括：

信号施加单元，用于通过所述扫描探针依次将所述模拟信号施加至待测目标的多个像素点；

测试结果信号接收单元，用于以预设采样频率记录扫描探针显微镜的针尖的时域振动或电流作为测试结果信号。

10.根据权利要求7所述的获取多维物性的扫描探针显微成像装置，其特征在于，所述数据处理模块包括：

测试数据生成单元，用于根据所述测试结果信号和拼接顺序生成所述待测目标的多个测试数据；

测试结果生成单元，用于将多个所述测试数据通过物理模型拟合得到所述待测目标中与不同特性参数对应的多个测试结果。