[发明专利]一种基于SPR传感装置的真空全压力测量方法在审
| 申请号： | 202110386437.3 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113108984A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 杨志韬;汪世杰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01N21/59 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙江省哈*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 spr 传感 装置 真空 压力 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于SPR技术的真空全压力测量方法，其特征在于：所述方法是应用SPR技术实现真空全压力测量。
2.根据权利要求1所述的一种基于SPR技术的真空全压力测量方法，其特征在于该技术可使用角度调制型SPR传感器实现。
3.根据权利要求1所述的一种基于SPR技术的真空全压力测量方法，其特征在于所述结构包括：真空室(1)、光源(2)、起偏器(3)、SPR测试装置(4)、光纤(5)、电荷耦台器件(CCD)检测器(6)、计算机(7)。
4.根据权利要求3所述的结构，其特征在于所述的光源(2)的波长为632.8nm。
5.根据权利要求3所述的结构，其特征在于所述的SPR测试装置(4)包括：棱镜(4-1)、金膜(4-2)、待测介质层(4-3)、步进电机(4-4)。
6.根据权利要求5所述的SPR测试装置(4)，其特征在于：所述的金膜(4-2)厚度为50nm，介电常数为εAu＝-11.740+1.26i。
7.根据权利要求要求3所述的SPR测试装置(4)，其特征在于所述的步进电机(4-4)用于改变入射角度，精度为0.00001°。
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