[发明专利]一种超大角度电磁驱动微镜

权利要求书

1.一种超大角度电磁驱动微镜，其特征在于，包括微镜以及设于微镜两侧的新型磁体结构、驱动线圈和锚点，所述微镜通过两个对称的扭转梁分别连接所述锚点的一侧，所述锚点的另一侧通过所述扭转梁连接微镜两侧的硅基板，所述锚点用于固定所述微镜；所述驱动线圈设置在微镜两侧的硅基板上，每侧的所述新型磁体结构围绕所述驱动线圈设置，用于产生与驱动线圈运动轨迹相切的辐射状磁场；所述驱动线圈的两端位于所述锚点上，外接电源时使作用于所述硅基板上的扭转力矩方向相同，所述微镜通过所述硅基板传递的扭转力矩以所述扭转梁为轴发生偏转；

所述新型磁体结构的底部通过外部支架固定，所述微镜的偏转角度不超过所述外部支架，每侧的所述新型磁体结构包括两个极性相对摆放的弧形永磁体和圆柱形导磁体；所述弧形永磁体为圆弧柱状，所述圆柱形导磁体和承载有所述驱动线圈的硅基板位于两个所述弧形永磁体之间，承载所述驱动线圈的硅基板为中空矩形，所述圆柱形导磁体位于所述硅基板的中空部，所述圆柱形导磁体用于强化辐射状磁场强度，所述圆柱形导磁体的中轴线、弧形永磁体的组合轴线和扭转梁同轴，使所述驱动线圈和所述弧形永磁体的距离在任意角度相等。

2.根据权利要求1所述的超大角度电磁驱动微镜，其特征在于，所述弧形永磁体的弧长夹角大于90°，使所述微镜达到大于180°的光学反射角度。

3.根据权利要求1所述的超大角度电磁驱动微镜，其特征在于，所述锚点无需包裹所述微镜设置，所述超大角度电磁驱动微镜的最外侧无需设置外部固定边框连接所述锚点，增大了占空比、减小了所述超大角度电磁驱动微镜的整体平面面积。

4.根据权利要求1所述的超大角度电磁驱动微镜，其特征在于，所述弧形永磁体的材料为钕铁硼磁铁、钐钴磁铁或铝镍钴磁铁；所述圆柱形导磁体的材料为纯铁、硅钢或铝铁合金；所述硅基板的材料为单晶硅或多晶硅。

5.根据权利要求1-4任一所述的超大角度电磁驱动微镜，其特征在于，所述驱动线圈在所述辐射状磁场中获得的电磁力只沿扭转力矩方向，没有其他方向分力，所述电磁力与驱动电流呈线性关系。