[发明专利]一种光电晶体管及其制备方法

权利要求书

1.一种光电晶体管的制备方法，其特征在于，包括步骤：

将石墨烯转移至绝缘衬底上；

在所述石墨烯上制备预定图形的金属电极，制得石墨烯晶体管；

将生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶体管上，制得所述光电晶体管。

2.根据权利要求1所述光电晶体管的制备方法，其特征在于，在所述石墨烯上制备预定图形的金属电极的步骤包括：

利用电子束刻蚀工艺在石墨烯上依次进行旋涂光刻胶、曝光、显影、沉积金属电极、去除光刻胶处理，得到预定图形的金属电极；

或者，将刻有预定图形的金属掩板置于所述石墨烯上，在所述预定图形的金属掩板上沉积金属电极，得到预定图形的金属电极。

3.根据权利要求2所述光电晶体管的制备方法，其特征在于，所述金属电极材料为Au、Cr、Ag、Ti、Al或Nb中的一种。

4.根据权利要求2所述光电晶体管的制备方法，其特征在于，将生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶体管上的步骤包括：

将所述生物光敏分子溶于有机溶剂中并进行超声处理，得到生物光敏溶液；

将所述生物光敏溶液滴涂到所述石墨烯晶体管上并进行烘干处理，使所述光敏分子嫁接在所述石墨烯晶体管上。

5.根据权利要求4所述光电晶体管的制备方法，其特征在于，将生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶体管上的步骤包括：

将所述生物光敏分子溶于有机溶剂中并进行超声处理，得到生物光敏溶液；

采用热蒸发法将所述生物光敏溶液中的生物光敏分子直接蒸发在所述石墨烯晶体管上。

6.根据权利要求4-5任一所述光电晶体管的制备方法，其特征在于，所述生物光敏分子为卟啉、卟啉衍生物、酞菁和酞菁衍生物中的一种或多种。

7.根据权利要求4-5任一所述光电晶体管的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为乙醇，丙酮，乙腈，二氯甲烷和四氢呋喃中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述光电晶体管的制备方法，其特征在于，所述将生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶体管上之前还包括步骤：

采用拉曼光谱对制得的石墨烯晶体管进行筛选，得到筛选后石墨烯晶体管。

9.根据权利要求1所述光电晶体管的制备方法，其特征在于，所述将生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶体管上之后还包括步骤：

采用拉曼光谱检测生物光敏分子和石墨烯晶体管的复合效果。

10.一种光电晶体管，其特征在于，采用权利要求1-9任一所述光电晶体管的制备方法制得。