[发明专利]一种液体环境下的微型机器人推进装置

权利要求书

1.一种液体环境下的微型机器人推进装置，其特征在于，包括：压电薄膜、插指电极、声能反射栅、基底，其中：

所述基底上表面具有偏心设置的向下的凹部形成的凹槽；

所述压电薄膜位于所述基底上方设置，且覆盖所述基底，所述压电薄膜位于所述凹槽的部分具有条形孔，所述条形孔与所述凹槽连通，使得位于所述凹槽上方的所述压电薄膜与所述凹槽形成开放性腔体，构成谐振腔，且所述条形孔位于所述凹槽的一侧；

所述插指电极布设于压电薄膜表面，所述插指电极与所述条形孔平行设置；

所述声能反射栅布设于压电薄膜表面，且位于所述插指电极的远离所述条形孔的一侧，形成所述插指电极位于所述条形孔与所述声能反射栅之间的结构，所述声能反射栅与所述条形孔平行设置。

2.根据权利要求1所述的推进装置，其特征在于，所述插指电极包括：布设于压电薄膜上表面的梳状顶部插指电极，布设于压电薄膜下表面的梳状底部插指电极；

所述顶部插指电极与所述底部插指电极反对称设置；

所述顶部插指电极总线接信号端，所述底部插指电极整体接地。

3.根据权利要求1所述的推进装置，其特征在于，所述声能反射栅包括：布设于压电薄膜上下表面，且对齐设置的若干独立的平行的金属板阵列，且平行于所述条形孔设置。

4.根据权利要求1所述的推进装置，其特征在于，所述声能反射栅的宽度、电极覆盖率与插指电极相同。

5.根据权利要求1所述的推进装置，其特征在于，所述压电薄膜为以下之一材料构成：氮化铝、氧化锌、铌酸锂、压电石英、压电陶瓷、或聚偏氟乙烯聚合物。

6.根据权利要求1所述的推进装置，其特征在于，所述插指电极或声能反射栅为以下之一材料构成：钼、铝、或金。

7.根据权利要求1所述的推进装置，其特征在于，至少两个所述推进装置以一定倾角布设，或并排布设，形成推进装置阵列。

8.根据权利要求7所述的推进装置，其特征在于，在一个平面内，至少三个所述推进装置阵列以中心对称方式布设，形成推进装置阵列组件。

9.根据权利要求8所述的推进装置，其特征在于，在三维空间内，三个空间平面内的每个平面内至少布设有一个推进装置阵列组件。