[发明专利]悬浮物的测量装置和气浮卡盘

权利要求书

1.一种气浮卡盘，其特征在于，包括：

悬浮部件，用于在所述悬浮部件的上表面形成气垫以使悬浮物悬浮，其中，所述气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度以使所述悬浮物倾斜所述预设角度；

至少一个阻挡部件，位于所述悬浮部件的侧边，用于阻挡所述悬浮物沿所述气垫的上表面的倾斜方向移动。

2.根据权利要求1所述的气浮卡盘，其特征在于，所述至少一个阻挡部件包括第一阻挡部件，所述第一阻挡部件与所述悬浮物接触以形成至少一个阻挡点。

3.根据权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述至少一个阻挡点包括第一阻挡点，所述倾斜方向对应的延长线通过所述第一阻挡点，其中，所述延长线为所述悬浮物的对称轴。

4.根据权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述至少一个阻挡点包括第二阻挡点和第三阻挡点，所述第二阻挡点和所述第三阻挡点关于所述倾斜方向对应的延长线对称，所述延长线为所述悬浮物的对称轴。

5.根据权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述至少一个阻挡部件还包括第二阻挡部件，其中，所述第一阻挡部件和所述第二阻挡部件分别以与所述倾斜方向对应的延长线对称的方式设置在所述悬浮部件的侧边，所述延长线为所述悬浮物的对称轴。

6.根据权利要求5所述的气浮卡盘，其特征在于，所述第一阻挡部件和/或所述第二阻挡部件靠近所述悬浮物的表面为弧形。

7.根据权利要求6所述的气浮卡盘，其特征在于，所述第一阻挡部件和所述第二阻挡部件的结构为圆杆。

8.根据权利要求1所述的气浮卡盘，其特征在于，所述悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，其中，所述卡盘层和/或所述气流层倾斜所述预设角度以使所述悬浮物倾斜所述预设角度，所述卡盘层远离所述气流层的表面上设置有与所述气流层连接的多个压力喷嘴或者所述多个压力喷嘴和多个吸力喷嘴，用于形成所述气垫。

9.根据权利要求8所述的气浮卡盘，其特征在于，所述悬浮部件还包括设置在所述气流层远离所述卡盘层的表面下方的至少一个倾斜平台，所述至少一个倾斜平台用于使所述卡盘层和所述气流层倾斜所述预设角度。

10.根据权利要求1所述的气浮卡盘，其特征在于，所述悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，其中，所述气流层中气体产生的作用力沿所述倾斜方向变小以使所述气垫倾斜所述预设角度，所述气垫驱动所述悬浮物倾斜所述预设角度。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的气浮卡盘，其特征在于，所述悬浮物包括晶圆。

12.一种悬浮物的测量装置，其特征在于，包括：

如权利要求1-11中任一项所述的气浮卡盘；

干涉仪，用于获取悬浮物的表面的干涉条纹图像，以基于所述干涉条纹图像对所述悬浮物进行形状测量和/或平整度测量，所述干涉仪设置为倾斜预设角度。