[发明专利]光学位移传感器

权利要求书

1.一种光学位移传感器，包括：

衍射单元，具有沿测量方向以预定周期布置的衍射光栅；

光源，将光辐射到衍射单元；和

光接收单元，接收已经穿过衍射单元的光，其特征在于，所述光学位移传感器包括：

分割单元，将从光源辐射的光分割成第一光线和不同于该第一光线的第二光线；

反射单元，具有对从光源辐射的光进行反射的第一反射部分和相对于该第一反射部分以预定角度设置的第二反射部分；和

折返反射单元，将已经穿过反射单元的光折返并反射到所述反射单元，

其中，所述反射单元将由所述分割单元分割并已经穿过所述衍射单元的第一光线和第二光线从第一反射部分反射到第二反射部分，并且将由所述折返反射单元反射的第一光线和第二光线从第二反射部分反射到第一反射部分，和

其中，所述光接收单元接收已经穿过所述反射单元和所述折返反射单元的第一光线和第二光线。

2.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述分割单元对应于包括在所述衍射单元中的衍射光栅。

3.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述分割单元是将来自光源的光分割成彼此不同的两条光线的分束器。

4.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，该光学位移传感器包括全反射单元，该全反射单元全反射第一光线和第二光线，以便将第一光线和第二光线的光路的方向改变到预定方向。

5.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于：

该光学位移传感器包括运算单元，该运算单元基于由光接收单元接收的光来计算待测量对象的位移量；

所述衍射单元附接到在测量方向上移动的待测量对象并且与该待测量对象的移动同步地移动；和

所述运算单元，与和待测量对象的移动同步移动的衍射单元的移动相关联地，计算由于从由光接收单元接收的光检测到的待测量对象的运动而引起的位移量。

6.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于：

所述光学位移传感器包括运算单元，该运算单元基于由光接收单元接收的光来计算待测量对象的位移量；

所述衍射单元附接到围绕预定轴线旋转的待测量对象，并与待测量对象的旋转同步地旋转，所述预定轴线被限定为旋转轴线；和

所述运算单元，与和待测量对象的旋转同步旋转的衍射单元的旋转相关联地，基于从由光接收单元接收的光检测到的相位变化，计算角度位移量。

7.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述衍射单元是透射型的，其衍射并透射来自光源的光。

8.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述衍射单元是反射型的，其衍射并反射来自光源的光。