[发明专利]粒子束装置及其真空室的通气抽空方法、计算机程序产品

说明书

本发明涉及一种用于对粒子束装置的真空室进行通气和抽空的方法。本发明进一步涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括以下步骤：关闭第一真空泵的进气阀，关闭该第一真空泵的出气阀，在泵送操作中操作该第一真空泵，关闭布置在该真空室与另外的真空室之间的分离阀，通过打开流动连接至该真空室的通气设备来对该真空室进行通气，打开第二真空泵的进气阀，使用该第二真空泵对该真空室进行抽空，打开该第一真空泵的出气阀，打开该第一真空泵的进气阀以及使用该第一真空泵对该真空室进行抽空。

技术领域

本发明涉及一种用于对粒子束装置的真空室进行通气和抽空的方法，该粒子束装置用于对物体进行成像、分析和/或处理。本发明进一步涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。

背景技术

电子束装置、尤其是扫描电子显微镜(下文又称为SEM)和/或透射电子显微镜(下文又称为TEM)，用于检查物体(下文又称为样本)以获得关于在某些条件下的特性和行为的了解。

在SEM中，通过束发生器来生成电子束(下文又称为一次电子束)，并通过束引导系统将电子束聚焦到要检查的物体上。通过呈扫描设备形式的偏转设备以扫描方式来将一次电子束引导在要检查的物体的表面之上。在此，一次电子束的电子与要检查的物体相互作用。作为相互作用的结果，具体地，电子是由物体发射的(所谓的二次电子)并且一次电子束的电子是反向散射的(所谓的反向散射电子)。二次电子和反向散射电子被检测并用于图像生成。如此获得了要检查的物体的图像表示。进一步，在相互作用期间产生相互作用辐射，例如X射线辐射，并且为了对物体进行分析以及随后进行评估，通过检测器对相互作用辐射进行检测。

在TEM的情况下，同样通过束发生器来生成一次电子束，并且通过束引导系统将一次电子束聚焦到要检查的物体上。一次电子束穿过要检查的物体。当一次电子束穿过要检查的物体时，一次电子束的电子与要检查的物体的材料相互作用。通过由物镜和投影单元组成的系统将穿过要检查的物体的电子成像到荧光屏或检测器(例如相机)上。在此，成像还可以在TEM的扫描模式下进行。通常，这种TEM被称为STEM。另外，可以通过另外的检测器来检测要检查的物体处的反向散射电子和/或由要检查的物体发射的二次电子，以便对要检查的物体进行成像。

将STEM和SEM的功能组合在单个粒子束装置中是已知的。因此，能够使用此粒子束装置通过SEM功能和/或STEM功能对物体进行检查。

而且，呈离子束柱形式的粒子束装置是已知的。通过布置在离子束柱中的离子束发生器来生成用于处理物体的离子。举例来说，在处理期间例如通过在该过程中供给的气体来烧蚀物体的材料或将材料施加到物体上。另外地或替代性地，将离子用于成像。

此外，从现有技术中已知使用组合装置用于检查物体，其中，电子和离子两者都可以被引导至要检查的物体上。举例来说，已知使SEM另外配备有离子束柱。布置在离子束柱中的离子束发生器生成用于制备物体(例如去除物体的材料或向物体施加材料)或用于成像的离子。为此目的，通过呈扫描设备形式的偏转设备使离子在物体之上扫描。SEM在此特别地用于观察制备，而且还用于对经制备或未经制备的物体进行进一步检查。

已知包括真空室的粒子束装置，在该真空室中布置有要检查、要分析和/或要处理的物体。真空室也称为样本室。另外或作为物体的替代方案，例如在真空室中布置至少一个检查设备和/或成像设备。真空室处于真空。为了产生真空，至少一个泵被布置在真空室处。使用预真空泵和涡轮分子泵的组合用于在真空室中产生真空是已知的。举例来说，真空室在第一压力范围内或在第二压力范围内操作。第一压力范围仅包括例如小于或等于10^-3hPa的压力，并且第二压力范围仅包括例如大于10^-3hPa的压力。为了确保所述压力范围，真空室是真空密封的。