[发明专利]配管系统和处理装置

权利要求书

1.一种配管系统，其中，

该配管系统具有：

多个配管，其分别被绝热材料覆盖，在该配管的内部流通冷却介质；以及

传热构件，其配置在互相相邻的所述配管的两个所述绝热材料之间，

所述传热构件具有：

接触部，其与两个所述绝热材料接触；以及

受热部，其形成有与所述配管的外部空气接触的受热面，将在所述受热面自所述外部空气接收的热量传递至所述接触部。

2.根据权利要求1所述的配管系统，其中，

所述传热构件由导热率比所述绝热材料的导热率高的材料形成。

3.根据权利要求1或2所述的配管系统，其中，

所述接触部和所述受热部一体地形成。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的配管系统，其中，

所述受热部配置为局部地覆盖两个所述绝热材料的一者或两者的外周。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的配管系统，其中，

所述受热部配置为与所述接触部一起呈环状覆盖两个所述绝热材料的一者或两者的整周。

6.根据权利要求5所述的配管系统，其中，

所述受热部配置为与所述接触部一起沿着所述配管的长度方向呈筒状覆盖两个所述绝热材料的一者或两者的整周。

7.根据权利要求6所述的配管系统，其中，

所述受热部和所述接触部配置为与所述绝热材料的外周面之间空开间隙。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的配管系统，其中，

所述接触部的与两个所述绝热材料中的一者接触的部分和与两个所述绝热材料中的另一者接触的部分分离地形成。

9.根据权利要求1～3中任一项所述的配管系统，其中，

所述受热部配置为自所述接触部的端部朝向所述配管的外部空气呈板状延伸。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的配管系统，其中，

所述受热部在所述受热面具有翅片。

11.根据权利要求1～9中任一项所述的配管系统，其中，

对所述受热部的所述受热面施加粗糙面加工或点加工。

12.一种处理装置，其中，

该处理装置具有：

处理容器，其处理被处理体；

热交换构件，其设于所述处理容器内，在冷却介质和所述被处理体之间进行热交换，该冷却介质在该热交换构件的内部流通；

供给装置，其向所述热交换构件供给所述冷却介质；

多个配管，其与所述热交换构件和所述供给装置连接，该多个配管分别被绝热材料覆盖，在该配管的内部流通所述冷却介质；以及

传热构件，其配置在互相相邻的所述配管的两个所述绝热材料之间，

所述传热构件具有：

接触部，其与两个所述绝热材料接触；以及

受热部，其形成有与所述配管的外部空气接触的受热面，将在所述受热面自所述外部空气接收的热量传递至所述接触部。