[发明专利]一种单晶炉用加料设备

说明书

本发明公开了一种单晶炉用加料设备，包括：移动座；升降机构，所述升降机构竖直安装于所述移动座上；密封壳，所述密封壳安装于所述升降机构上，所述密封壳底端开设有与单晶炉连通的开口；加料机构，所述加料机构安装于所述密封壳内，所述加料机构出料端自开口伸入位于单晶炉的坩埚内；存料机构，所述存料机构安装于所述密封壳外表面，所述存料机构出料端连接有带阀管路，所述带阀管路远离存料机构端伸入密封壳内，并靠近加料机构进料端设置。

技术领域

本发明涉及单晶生长设备技术领域，具体地说，涉及一种单晶炉用加料设备。

背景技术

目前单晶炉的加料方式为人工打开单晶炉炉盖后，利用料筒向坩埚内投入硅粉，由于需要人工投料，因此需要等单晶炉内温度降温到适宜温度后，才能靠近投料，浪费大量的时间，这样很难满足大规模工业化生产的需求。

发明内容

为达到上述目的，本发明公开了一种单晶炉用加料设备，包括：

移动座；

升降机构，所述升降机构竖直安装于所述移动座上；

密封壳，所述密封壳安装于所述升降机构上，所述密封壳底端开设有与单晶炉连通的开口；

加料机构，所述加料机构安装于所述密封壳内，所述加料机构出料端自开口伸入位于单晶炉的坩埚内；

存料机构，所述存料机构安装于所述密封壳外表面，所述存料机构出料端连接有带阀管路，所述带阀管路远离存料机构端伸入密封壳内，并靠近加料机构进料端设置。

优选的，所述升降机构包括：

升降座，所述升降座竖直安装于所述移动座上；

升降槽，所述升降槽竖直开设于所述升降座侧端；

升降螺杆，所述升降螺杆安装于所述升降槽内；

升降螺块，所述升降螺块套设于所述升降螺杆上，所述升降螺块滑动连接于升降槽内，所述密封壳通过连接臂连接于升降螺块上；

升降电机，所述电机安装于所述升降座顶端，所述升降电机输出端伸入升降槽内，并与所述升降螺杆连接。

优选的，所述密封壳外表面连接有惰性气体进口和带泵抽气口。

优选的，所述加料机构包括：

第一加料锥筒，所述第一加料锥筒通过固定架转动安装于所述密封壳内壁上，所述带阀管路远离存料机构端位于所述第一加料锥筒上方；

第二加料锥筒，所述第二加料锥筒位于所述第一加料锥筒下方，所述第二加料锥筒顶端套设于第一加料锥筒外设置；

锥筒转动机构，所述锥筒转动机构套设于所述第二加料锥筒外靠近顶端位置；

卷扬机，所述卷扬机安装于所述密封壳内顶部位置；

Y型连接杆，所述卷扬机输出端通过连接绳与Y型连接杆连接；

支撑板，所述锥筒转动机构嵌设于所述支撑板中心端；

提拉绳，两个所述提拉绳以第二加料锥筒为中心对称连接于所述支撑板上，所述提拉绳远离支撑板端与所述Y型连接杆远离连接绳端连接；

其中，所述锥筒转动机构用于驱动所述第一加料锥筒转动。

优选的，所述锥筒转动机构包括：

锥筒转动座，所述锥筒转动座嵌设于所述支撑板中心端；

安装孔，所述安装孔开设于所述锥筒转动座中心位置，所述安装孔孔径小于所述第一加料锥筒顶端直径；