[发明专利]一种蒸镀产线的挡板机构

权利要求书

1.一种蒸镀产线的挡板机构，所述蒸镀产线包括：

多个蒸镀腔，所述蒸镀腔内设置有蒸发组件及蒸镀通道；

流转卡夹，所述流转卡夹承载基片依次经过所述蒸镀通道上方进行蒸镀工作；

其特征在于，所述挡板机构包括挡板组件，所述挡板组件对应所述蒸镀通道设置，所述挡板组件动态遮挡所述蒸镀通道形成工作通道，所述工作通道与所述基片在蒸镀通道的暴露部分相匹配；

所述挡板组件包括第一挡板及第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板沿与所述基片运动方向相同的方向运动以调节所述工作通道的大小和位置，所述第一挡板和所述第二挡板沿与所述基片运动方向相反的方向运动以回到初始位置。

2.如权利要求1所述的蒸镀产线的挡板机构，其特征在于，所述挡板机构还包括用于带动所述第一挡板运动的第一驱动组件和用于带动所述第二挡板运动的第二驱动组件，所述第一驱动组件包括第一电机和第一传动装置，所述第二驱动组件包括第二电机和第二传动装置带动所述第二挡板运动。

3.如权利要求1所述的蒸镀产线的挡板机构，其特征在于，所述第一挡板与所述第二挡板错层设置，避免相邻挡板组件干扰。

4.如权利要求3所述的蒸镀产线的挡板机构，其特征在于，所述挡板机构还包括用于导向所述第一挡板运动的第一挡板导向装置和用于导向所述第二挡板运动的第二挡板导向装置。

5.如权利要求1所述的蒸镀产线的挡板机构，其特征在于，所述蒸镀腔内设置有多个所述蒸发组件及多个所述蒸镀通道。

6.如权利要求1所述的蒸镀产线的挡板机构，其特征在于，所述蒸发组件为线性蒸发源。

7.如权利要求1所述的蒸镀产线的挡板机构，其特征在于，所述挡板机构还包括用于检测所述基片位置的传感器。

8.如权利要求7所述的蒸镀产线的挡板机构，其特征在于，所述传感器为光电开关。

9.一种蒸镀产线，包括如权利要求1-8任一项所述的挡板机构。