[发明专利]基板用通电装置

说明书

本发明涉及基板用通电装置，本发明包括：多个移送部，对基板进行移送并与所述基板通电，多个所述移送部能够接地；等候部，配置于相邻的所述移送部之间并与所述基板通电，所述等候部能够接地；以及处理部，对通过所述移送部投入的所述基板进行处理并与所述基板通电，所述处理部能够接地，本发明可通过在基板处理过程中迅速消除在基板产生的静电来防止基板不良。

技术领域

本发明涉及基板用通电装置，更详细地，涉及可通过阻断在基板的移送及处理过程中产生的静电来防止基板不良的基板用通电装置。

背景技术

通常，在半导体装置或液晶显示装置等的制造工序中所使用的基板处理装置设置有枚叶式的处理单元，所述处理单元包括：旋转夹钳，几乎水平支承基板来使其旋转；以及喷嘴，用于向由旋转夹钳进行支承的基板供给处理液。

而且，用于对基板进行擦洗清洗的处理单元设置有用于对由旋转夹钳进行支承的基板进行擦洗清洗的刷子。

但是，以往存在如下的问题，即，如果在基板处理过程中在基板产生静电，则引起基板不良。因此，有必要对其进行改善。

本发明的背景技术公开在韩国公开专利公报第2015-0015346号(2015.02.10.公开，发明的名称：基板处理装置)。

发明内容

要解决的技术问题

本发明用于解决如上所述的问题，本发明的目的在于，提供可通过阻断在基板的移送及处理过程中产生的静电来防止基板不良的基板用通电装置。

解决技术问题的手段

本发明的基板用通电装置的特征在于，包括：多个移送部，对基板进行移送并与所述基板通电，多个所述移送部能够接地；等候部，配置于相邻的所述移送部之间并与所述基板通电，所述等候部能够接地；以及处理部，对通过所述移送部投入的所述基板进行处理并与所述基板通电，所述处理部能够接地。

本发明的特征在于，所述移送部包括：移送主体部，进行接地；移送工作部，在所述移送主体部中以能够移动的方式安装，并与所述移送主体部通电；以及移送把持部，安装于所述移送工作部并与所述移送工作部通电，所述移送把持部对所述基板进行把持。

本发明的特征在于，所述等候部包括：等候基座部，进行接地；等候托架部，连接于所述等候基座部的上侧并与所述等候基座部通电；以及等候支承部，连接于所述等候托架部并支承所述基板，并且与所述等候托架部通电。

本发明的基板用通电装置的特征在于，还包括防带电部，所述防带电部向通过所述移送部移动的所述基板喷射防带电介质，以防止所述基板产生静电。

本发明的特征在于，所述处理部包括：腔室部，进行接地；转轴部，安装于所述腔室部并与所述腔室部通电；操作台部，安装于所述转轴部并旋转，并且与所述转轴部通电；固定部，沿着所述操作台部的圆周方向安装有多个，并且与所述基板通电；以及驱动部，使所述固定部旋转并与所述固定部通电，所述驱动部与所述操作台部通电。

本发明的特征在于，所述腔室部包括：腔室壳体部，进行接地；以及腔室基座部，安装于所述腔室壳体部，并且与所述转轴部结合。

本发明的特征在于，所述操作台部包括：中心操作台部，与所述转轴部结合；下部操作台部，与所述中心操作台部结合；上部操作台部，与所述下部操作台部结合以覆盖所述下部操作台部的上部；以及支承操作台部，沿着所述上部操作台部的圆周方向配置有多个，并且供所述基板放置。

本发明的特征在于，所述固定部包括：固定旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并通过所述驱动部的直线移动而旋转；以及固定夹钳部，从所述固定旋转部的上侧突出，随着所述固定旋转部的旋转与所述基板的边缘紧贴或分离。