[发明专利]一种带材真空等离子体镀膜方法及装置

权利要求书

1.一种带材真空等离子体镀膜装置，包括真空镀膜室、设置在真空镀膜室内的收卷放卷装置，真空镀膜室带有阴极靶、抽真空系统、加热系统和充工艺气系统，其特征在于收卷放卷装置包括设置在真空镀膜室内的两轴、移动小车、并排转动设置在移动小车上的两卷辊，两轴中的一个以上由动力带动转动，两轴的位于真空镀膜室内的端部设置有阴离合器构件，卷辊的对着阴离合器构件的端部设置有阳离合器构件，卷辊两端的轴上设置有轴承，对应卷辊的轴承的移动小车上设置有轴承支架。

2.根据权利要求1所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室内设置有将移动小车从镀膜室进口导向镀膜室内的轴的内导轨。

3.根据权利要求2所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室的进口外侧设置有小车支架，小车支架上设置有能与内导轨相接的外导轨。

4.根据权利要求3所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于小车支架上靠近镀膜室的进口处设置有由动力带动的齿轮，对应齿轮的移动小车的下面设置有与齿轮啮合的齿条。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于镀膜室内的两轴分别由相应动力带动转动。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室进口处设置有移动小车定位锁紧结构。

7.根据权利要求5所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室进口处设置有移动小车定位锁紧结构。

8.根据权利要求1或2或3或4或7所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于小车支架沿外部导轨在镀膜室与复卷机间来回移动。

9.一种带材真空等离子体镀膜方法，其特征在于将待镀膜金属带卷复卷到两端带有轴承的其中一卷辊上，然后连同两端带有轴承的另一卷辊并排放置在移动小车的相应的两对轴承支架上，将其中一卷辊上的金属带引到另一卷辊上，再将移动小车推入镀膜室内，使两卷辊端部的阳离合器构件与镀膜室内的相应的两轴端的阴离合器构件结合，关闭镀膜室，抽真空，通入工艺气体，启动另一轴的动力，动力通过轴带动另一卷辊转动进行收卷，启动镀膜室的阴极靶弧电源持续对展开的金属带进行镀膜，镀膜完成后，从镀膜室内移出移动小车，将另一收卷有镀膜金属带的卷辊从另一对轴承支架上移出并将镀膜金属带复卷回镀膜金属带卷。

10.根据权利要求9所述的带材真空等离子体镀膜方法，其特征在于从移动小车移出另一收卷有镀膜金属带的卷辊后，将第三个复卷有待镀膜金属带的卷辊放置在另一对轴承支架上，将第三卷辊上的金属带引到其中一卷辊上，然后，将移动小车推入镀膜室进行镀膜。