[发明专利]一种高速高灵敏的ZnO纳米线阵列射频紫外探测器

权利要求书

1.一种高速高灵敏的ZnO纳米线阵列射频紫外探测器，其特征在于，在无紫外光照时，ZnO纳米线形成表面耗尽层，在进行紫外光照时，ZnO纳米线表面耗尽层吸收光子能量而减薄，ZnO纳米线表面耗尽层的变化会使得ZnO纳米线的电容发生变化；此电容变化将引起的纳米线射频谐振频率的变化，通过检测谐振频率的变化，探测紫外光；

复合金属电极层错位设置在ZnO种子层之上，同时边上露出部分种子层以形成台阶状结构，在露出的种子层侧面斜向上生长有ZnO纳米线阵列；

所述ZnO种子层为细长条状，上下表面中的长宽比均为20:1～40:1，宽度不大于10微米，侧面对应的厚度为50纳米～400纳米。

2.按照权利要求1所述的一种高速高灵敏的ZnO纳米线阵列射频紫外探测器，其特征在于，所述复合金属电极包括：钛电极层和金电极层，所述的钛电极层在种子层之上，所述的金电极层设置在钛电极层之上。

3.按照权利要求2所述的一种高速高灵敏的ZnO纳米线阵列射频紫外探测器，其特征在于，所述的钛电极层的厚度为15纳米～40纳米，金电极层的厚度为50纳米～1000纳米。

4.按照权利要求1所述的一种高速高灵敏的ZnO纳米线阵列射频紫外探测器，其特征在于，所述ZnO纳米线直径为50纳米～500纳米，长度为3微米～12微米。