[发明专利]一种气体泄漏检测系统和方法

权利要求书

1.一种气体泄漏检测系统，其特征在于，包括光源（4）、光信号分路元件（5）、光信号合路元件（7）、密封腔（1）和检测器（8），所述密封腔（1）用于密封待检测部位，所述密封腔（1）上开设有孔，所述孔上覆盖有形变装置（101），所述形变装置（101）能够根据密封腔（1）内气压变化发生形变；

所述光源（4）发射的光信号通过光信号分路元件（5）分成两路，其中一路照射至密封腔（1）外壁上，另一路照射至形变装置（101）上；所述光信号合路元件（7）能够使密封腔（1）外壁反射的光信号与形变装置（101）反射的光信号发生双光束干涉；所述检测器（8）能够对发生双光束干涉后的光信号进行光强检测，并根据光强检测结果判断气体泄漏情况。

2.根据权利要求1所述的气体泄漏检测系统，其特征在于，所述光信号分路元件（5）和/或光信号合路元件（7）选用耦合器。

3.根据权利要求1所述的气体泄漏检测系统，其特征在于，所述密封腔（1）上设有防止环境光干扰光信号的抗干扰装置（3），所述抗干扰装置（3）上插设有至少两根光纤，其中一根光纤用于将光信号分路元件（5）分成的其中一路光信号导向至密封腔（1）外壁，并将密封腔（1）外壁反射的光信号导出；另一路光纤用于将光信号分路元件（5）分成的另一路光信号导向至形变装置（101），并将形变装置（101）反射的光信号导出。

4.根据权利要求3所述的气体泄漏检测系统，其特征在于，对应每根光纤设置有一环形器（6），所述环形器（6）能够将光信号分路元件（5）分出的光信号导向至相应的光纤，同时将光纤导出的光信号导向至光信号合路元件（7）。

5.根据权利要求4所述的气体泄漏检测系统，其特征在于，所述环形器（6）为三端口。

6.根据权利要求1所述的气体泄漏检测系统，其特征在于，所述光源（4）包括激光器。

7.根据权利要求1所述的气体泄漏检测系统，其特征在于，所述形变装置（101）包括弹性膜片。

8.根据权利要求1所述的气体泄漏检测系统，其特征在于，所述密封腔（1）由刚性材料制成。

9.一种权利要求1至8任一项所述气体泄漏检测系统的检测方法，其特征在于，所述方法包括：

将检测器（8）实时采集的光强检测值作为光强测定值；

将光强测定值与预存的光强参考值相比较，若两者不一致，则表明待检测部位发生漏气；否则，表明待检测部位未发生漏气；

其中，预存的光强参考值为形变装置未发生形变时，检测器（8）所检测的光强值。